P13.XY为二维压电纳米定位台,台体采用平行运动学机构放大设计原理,内置高性能压电陶瓷,位移为 45μm/轴。开环闭环版本可供选择。产品主要应用于光学显微、生物科技等领域。
产品特点
二维XY轴运动 |
行程可达45μm |
体积小巧 |
亚毫秒响应时间 |
纳米级定位精度 |
真空版本可选 |
|
|
外观形状 |
产品运动示意图 |
放大机构式驱动示意图 |
小体积、无机械间隙、高分辨率
固态铰链平行四边形设计原理,平行运动无机械间隙,该结构原理使其具有高的分辨率,运动直线性好。 |
传感器类型 |
闭环阶跃稳定时间图 P13.XY50S 满行程的稳定时间约为30ms。 |
产品应用
2D扫描系统 |
光路调整 |
微操作 |
原子力显微镜 |
纳米定位 |
干涉法/ 扫描显微/纳米定位 |
生物技术/半导体技术 |
质量保证测试 |
P13全系列产品
技术参数 | |||
型号 |
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 |
P13.XY30S P13.XY30K |
单位 |
运动自由度 |
X、Y |
|
|
驱动控制 |
2路驱动,2路传感 |
|
|
标称行程范围(0~120V) |
36/轴 |
μm±20% |
|
行程范围上限(0~150V) |
45/轴 |
μm±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
闭/开环分辨率 |
1/0.5 |
nm |
|
闭环线性度 |
0.2/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.1/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<30 |
μrad |
|
推/拉力 |
5/2 |
N |
|
运动方向刚度 |
X0.15/Y0.2 |
N/μm±20% |
|
空载谐振频率 |
0.6 |
kHz±20% |
|
闭/开环空载阶跃时间 |
20/3 |
ms±20% |
|
承载能力 |
0.2 |
kg |
|
静电容量 |
0.4/轴 |
μF±20% |
|
材质 |
铝、钢 |
|
|
重量 |
110 |
g±5% |
注:以上参数是采用 E00/E01 系列压电控制器测得。最大驱动电压可在 -20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在 0~120V。
|
|
应用案例
硬盘测试 |
显微镜探针校准 |
迈克尔逊干涉仪 |
|
|
|
|
陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
|
|
|
|
钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
|
|
|
|
粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
|
|
|
|
P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
|
|
|
|
BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
|
|
|
|
BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |