P13.XY二维XY向压电纳米定位台 当前位置:产品首页 >> 二维压电纳米定位台>>P13.XY二维XY向压电纳米定位台
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P13.XY为二维压电纳米定位台,台体采用平行运动学机构放大设计原理,内置高性能压电陶瓷,位移为 45μm/轴。开环闭环版本可供选择。产品主要应用于光学显微、生物科技等领域。


产品特点


 二维XY轴运动

 行程可达45μm

 体积小巧

 亚毫秒响应时间

 纳米级定位精度

 真空版本可选

 

 


外观形状

产品运动示意图

放大机构式驱动示意图

小体积、无机械间隙、高分辨率

固态铰链平行四边形设计原理,平行运动无机械间隙,该结构原理使其具有高的分辨率,运动直线性好。
      P13系列压电纳米定位台易于安装到其他的定位系统并可配置传感测量装置(应变计传感器)可有效地消除压电陶瓷的迟滞与蠕变特性。
      P13 压电平移台是受限空间中扫描应用的理想选择。

传感器类型

闭环阶跃稳定时间图

P13.XY50S 满行程的稳定时间约为30ms。

位移与电压曲线

谐振频率与负载曲线

线性度曲线


产品应用


 2D扫描系统

 光路调整

 微操作

 原子力显微镜

 纳米定位

 干涉法/ 扫描显微/纳米定位

 生物技术/半导体技术

 质量保证测试


P13全系列产品



P13.XY二维压电纳米定位台


P13.XYZ三维压电纳米定位台

    技术参数

型号

尾缀S-闭环

尾缀K-开环

P13.XY30S

P13.XY30K

单位

运动自由度

XY

 

驱动控制

2路驱动,2路传感

标称行程范围(0~120V

36/

μm±20%

行程范围上限(0~150V

45/

μm±20%

传感器类型

SGS/-

 

/开环分辨率

1/0.5

nm

闭环线性度

0.2/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.1/-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

<30

μrad

/拉力

5/2

N

运动方向刚度

X0.15/Y0.2

N/μm±20%

空载谐振频率

0.6

kHz±20%

/开环空载阶跃时间

20/3

ms±20%

承载能力

0.2

kg

静电容量

0.4/

μF±20%

材质

铝、钢

 

重量

110

g±5%

注:以上参数是采用 E00/E01 系列压电控制器测得。最大驱动电压可在 -20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在 0~120V。


    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
    尺寸图、参数表、使用说明书下载
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Step

参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual


应用案例


硬盘测试

显微镜探针校准

迈克尔逊干涉仪


硬盘测试

显微镜探针校准

迈克尔逊干涉仪


陶瓷转接头

氧化铝转接头

金属转接头

促动器柔性转接头

       

钨钢垫片

热稳定散热片

促动器与平台转接座

促动器测试支架

       

粘镜片胶水

P34 镜片转接架

P32/ P33 镜片转接架

P32/P33 镜片转接座

       

P22 测试支架

P32/P33 测试支架

P34 测试支架

P31/P54 测试支架

       

BNC转LEMO

BNC转鱼夹

单芯LEMO座转鱼夹

单芯LEMO线

       

BNC连接头转鱼夹

LEMO 连接器

测试支架

磁力表座

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