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P66.XZ直驱压电平移台，是二维XZ轴运动压电定位台，采用压电陶瓷直驱机构的设计原理，具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高精度传感器，可以实现纳米级分辨率、定位精度具有高的可靠性，压电平移台在精密定位领域中发挥着重要的作用。
产品特点
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位移与电压曲线 
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线性度曲线 
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| 技术参数 | |||
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型号 |
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 |
P66.XZ30S P66.XZ30K |
单位 |
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运动自由度 |
X、Z |
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驱动控制 |
2路驱动，2路传感 |
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标称行程范围（0~120V） |
24/轴 |
μm±10% |
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行程范围上限（0~150V） |
30/轴 |
μm±10% |
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传感器类型 |
SGS/- |
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闭/开环分辨率 |
1/0.5 |
nm |
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闭环线性度 |
0.1/- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.08/- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<15 |
μrad |
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推/拉力 |
30/10 |
N |
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运动方向刚度 |
1.1 |
N/μm±20% |
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空载谐振频率 |
X1.5/Z0.8 |
kHz±20% |
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闭/开环空载阶跃时间 |
20/1 |
ms±20% |
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闭环空载 工作频率 |
10%行程 |
60 |
Hz±20% |
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100%行程 |
6 |
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承载能力 |
1 |
kg |
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静电容量 |
3.6/轴 |
μF±20% |
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材质 |
铝 |
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重量 |
320 |
g±5% |
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应用案例
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硬盘测试 
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显微镜探针校准 
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迈克尔逊干涉仪 
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