- 产品介绍
- 意见反馈
XD611.XYZ500 压电纳米定位台是一款三维运动的压电平 台，行程可高达 500μm，适用于小型样品的三维纳米定位应用。
产品特点
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
运动方向 
|
产品应用
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| 技术参数 | |||
|
型号 |
XD611.XYZ500S |
XD611.XYZ500K |
单位 |
|
运动自由度 |
X、Y、Z |
X、Y、Z |
|
|
驱动控制 |
3路驱动，3路传感 |
3路驱动 |
|
|
标称行程（0~120V） |
400/ 轴 |
400/ 轴 |
µm±20% |
|
行程范围（0~150V） |
500/ 轴 |
500/ 轴 |
µm±20% |
|
传感器类型 |
SGS，全闭环 |
- |
|
|
分辨率 |
18 |
7 |
nm |
|
闭环线性度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
|
重复定位精度 |
0.05 |
- |
%F.S. |
|
空载谐振频率 |
X0.08/Y0.13/Z0.08 |
X0.08/Y0.13/Z0.08 |
kHz±20% |
|
承载能力 |
0.2 |
0.2 |
kg |
|
静电容量 |
14.4/ 轴 |
14.4/ 轴 |
μF±20% |
|
重量（含线） |
850 |
850 |
g±5% |
|
材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
|
注：以上参数是采用 E00/E01 系列压电控制器测得。最大驱动电压可在 -20V~150V；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0~120V。
应用案例
|
硬盘测试 
|
显微镜探针校准 
|
迈克尔逊干涉仪 
|
