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三维 XYZ 小体积压电纳米定位台，台体采用平行运动学机构放大设计原理，内置高性能压电陶瓷。开环闭环版本可供选择。产品主要应用于光学显微、生物科技等领域。
产品特点
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| 技术参数 | |||
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型号 |
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 |
P13.XY100Z10S
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单位 |
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运动自由度 |
X、Y、Z |
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驱动控制 |
3路驱动，3路传感 |
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标称行程范围（0~120V） |
XY92/Z8 |
μm±10% |
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Max.行程范围上限（0~150V） |
XY115/Z10 |
μm±10% |
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传感器类型 |
SGS/- |
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闭/开环分辨率 |
XY1.5/0.5，Z0.5/0.1 |
nm |
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闭环线性度 |
X0.05/-，/Y0.02/-，Z0.3/- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
X0.008/-，Y0.013/-，Z0.055/- |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
XY0.06/Z0.16@500g |
kHz±20% |
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闭/开环空载阶跃时间 |
XY30@1μm，500g/3 |
ms±20% |
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承载能力 |
水平安装 |
0.8 |
kg |
| 立式安装 | 0.8 | ||
| 倒置安装 | 0.8 | ||
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静电容量 |
XY1.6/Z0.8 |
μF±20% |
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材质 |
钢、铝 |
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重量 |
230 |
g±5% |
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| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
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| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
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应用案例
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硬盘测试 
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显微镜探针校准 
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迈克尔逊干涉仪 
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