技术参数 | ||||||
轴 |
机构 |
型号 |
位移[μm] |
分辨率[nm] |
谐振频率[kHz] |
承载[kg] |
XYZ轴 |
直驱机构 |
P63.XYZ7 |
6.8 |
0.1 |
X0.9/Y0.95/Z1.2 |
0.4 |
放大机构 |
P66.XYZ |
34 |
0.7 |
X0.5/Y0.8/Z1.2 |
3.5 |
|
放大机构 |
P66.XYZ |
34 |
0.7 |
X0.5/Y0.8/Z1.2 |
3.5 |
|
放大机构 |
P60.XYZ200 |
200 |
5 |
0.3 |
0.3 |
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放大机构 |
P13.XYZ40 |
37.5/轴 |
1 |
X0.35/Y0.4/Z0.58 |
0.05 |
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放大机构 |
P13.XY50Z7 |
XY43/Z8 |
1 |
X0.05/Y0.52/Z8.7 |
0.8 |
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放大机构 |
P11.XYZ100 |
100 |
4 |
X0.2/Y0.3/Z0.18 |
0.6 |
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放大机构 |
W08 |
120 |
- |
- |
10 |
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |