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XD810三维抑振平台的内部分为起振结构与减震(阻振)结构,通过控制起振结构进行振动及位移输出,再通过算法控制阻振结构进行反向抑制振动及位移输出,从而实现抑制振动的目的。


原理

闭环多维振动系统的基本控制原理框图如下所示。

XD810控制通道示意图

推荐控制器

    技术参数

型号

XD810参数

性能

起振结构

减震结构

XY行程

28um±20%

28um±20%

Z行程

15um±20%

15um±10%

X固有频率

500Hz±20%

500Hz±20%

Y固有频率

450Hz±20%

400Hz±20%

Z固有频率

400Hz±20%

240Hz±20%

使用频率上限

20Hz±20%

20Hz±20%

XY静电容量

7.2μF/轴±20%

7.2μF/轴±20%

Z静电容量

5.7μF±20%

3.6μF±20%

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
    尺寸图、参数表、使用说明书下载
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Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual


应用案例


硬盘测试

显微镜探针校准

迈克尔逊干涉仪


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