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P11系列压电纳米定位台为小体积1~3维压电平移台，P11.XYZ为三维压电纳米定位台，平台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构，一体的结构设计，多维运动无耦合。 机构放大式驱动原理，内置高性能压电陶瓷，可实现100μm位移。闭环版本定位精度可达纳米级。采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有高导向精度、高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有佳的控制精度，分辨率和稳定性可达纳米量级，定位稳定时间为毫秒量级。压电定位台为无磁材质，使用过程中不受磁场的影响，且体积小、结构紧凑易于集成。
产品特点
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产品运动示意图 
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传感器类型 
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放大机构式驱动示意图 
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大行程、闭环版本定位精度高、响应速度快
P11系列纳米定位台采用机构放大设计原理，内置高可靠性压电陶瓷作为驱动源，可以实现1~3维100μm的精密运动。 |
原子力探针扫描显微镜 
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谐振频率与负载曲线 
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线性度曲线 
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位移与电压曲线 
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产品应用
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P11全系列产品
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 |
P11.XYZ100S |
P11.XYZ100K |
单位 |
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运动自由度 |
X、Y、Z |
X、Y、Z |
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驱动控制 |
3路驱动，3路传感 | 3路驱动 |
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标称行程范围（0~120V） |
80 |
80 |
µm/轴±10% |
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行程范围（0~150V） |
100 |
100 |
µm/轴±10% |
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传感器类型 |
SGS |
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分辨率 |
3 |
1 |
nm，typ. |
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闭环线性度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.05 |
- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
<10 |
µrad |
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机械性能 |
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运动方向推/拉力 |
30/5 |
30/5 |
N |
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运动方向刚度 |
X0.25/Y0.3/Z0.2 |
X0.25/Y0.3/Z0.2 |
N/µm±20% |
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空载谐振频率 |
X0.2/Y0.3/Z0.18 |
X0.2/Y0.3/Z0.18 |
kHz±20% |
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空载阶跃时间 |
20 |
0.8 |
ms±20% |
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闭环工作频率（-3dB） |
- |
- |
Hz±20% |
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承载能力 |
0.6 |
0.6 |
Kg |
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驱动性能 |
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静电容量 |
1.8 |
1.8 |
μF/轴±20% |
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其他 |
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工作温度范围** |
-20~80 |
-20~80 |
°C |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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外形尺寸（长×宽×高） |
40×40×36.5 |
40×40×36.5 |
mm |
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重量 |
230 |
230 |
g±5% |
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出线长 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
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传感/电压连接器*** |
LEMO |
LEMO |
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** 可定制低温版本及高真空版本。
***连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。
应用案例
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硬盘测试 
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显微镜探针校准 
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迈克尔逊干涉仪 
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |
