三维 XYZ 压电平台,台体采用平行运动学机构放大设计原理,内置高性能压电陶瓷。开环闭环版本可供选择。产品主要应用于光学显微、生物科技等领域。
产品特点
三维 XYZ 压电平台 |
承载能力0.8kg |
静电容量0.8μF/ 轴 |
位移可达43μm |
真空版本可选 |
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技术参数 | |||
型号 |
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 |
P13.XY50Z7S P13.XY50Z7K |
单位 |
运动自由度 |
X、Y、Z |
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驱动控制 |
3路驱动,3路传感 |
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标称行程范围(0~120V) |
X34/Y34/Z6 |
μm±20% |
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行程范围上限(0~150V) |
X43/Y43/Z8 |
μm±20% |
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传感器类型 |
SGS/- |
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闭/开环分辨率 |
XY1.5/0.5 ,Z0.5/0.1 |
nm |
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闭环线性度 |
0.2/- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.1/- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
- |
μrad |
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推/拉力 |
- |
N |
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运动方向刚度 |
- |
N/μm±20% |
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空载谐振频率 |
X0.55/Y0.52/Z8.7 |
kHz±20% |
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闭/开环空载阶跃时间 |
30/3 |
ms±20% |
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承载能力 |
0.8 |
kg |
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静电容量 |
0.8/轴 |
μF±20% |
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材质 |
钢、铝 |
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重量 |
200 |
g±5% |
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应用案例
硬盘测试 |
显微镜探针校准 |
迈克尔逊干涉仪 |