产品特点
三维 XYZ 向运动 |
行程范围 X180/Y180/Z300μm |
承载能力 200g |
开 / 闭环版本可选 |
真空版本可选 |
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技术参数 | ||
型号 |
P11.XY200Z300S P11.XY200Z300K |
单位 |
运动自由度 |
X、Y、Z |
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驱动控制 |
3路驱动,3路传感 |
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驱动源 |
压电堆栈 |
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标称行程范围(0 ~+120 V) |
X130/Y130/Z250 |
μm±10% |
行程范围(0~+150 V) |
X180/Y180/Z300 |
μm±10% |
传感器类型 |
SGS/- |
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闭/开环分辨率 |
XY:4.5/1.5,Z:8.5/2.5 |
nm |
闭环线性度 |
0.4/- |
%F.S. |
重复定位精度 |
0.1/- |
%F.S. |
空载谐振频率 |
X200/Y180/Z200 |
Hz±20% |
闭环工作频率(-3dB) |
40(负载50g)/- |
Hz±20% |
承载能力 |
0.2 |
kg |
静电容量 |
X2.2/Y2.2/Z7 |
μF±20% |
材质 |
钢、铝 |
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应用案例
硬盘测试 |
显微镜探针校准 |
迈克尔逊干涉仪 |