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P60.XYZ200压电纳米定位台是 XYZ 三维运动压电平台,它的行程范围可达 200μm/ 轴。


产品特点


 XYZ 三维运动

 行程范围可达 200μm

 闭环版本精度更高

 承载能力300g

 真空版本可选





位移与电压曲线

线性度曲线

    技术参数

型号

P60.XYZ200S

P60.XYZ200K

单位

运动方向

XYZ

XYZ

驱动控制

4路驱动,3路传感

4路驱动

标称行程范围(0 ~120 V)

160

160

µm±10%

行程范围(0~150V)

200

200

µm±10%

传感器类型

SGS

-

闭/开环分辨率

5.5

2

nm

闭环线性度

0.2

-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.1

-

%F.S.

空载谐振频率

270

270

Hz±20%

加载100g负载谐振频率

110

110

Hz±20%

50%行程空载使用频率

20

20

Hz±20%

静电容量

14/14/7.2

14/14/7.2

μF±20%

台体材料

工作温度范围

-20~80

-20~80

承载能力

300

300

g

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看

    尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF
Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual


应用案例


硬盘测试

显微镜探针校准

迈克尔逊干涉仪


硬盘测试

显微镜探针校准

迈克尔逊干涉仪


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    经销商 最终用户
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    企业 高校 研究所
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