P60.XYZ200压电纳米定位台是 XYZ 三维运动压电平台,它的行程范围可达 200μm/ 轴。
产品特点
XYZ 三维运动 |
行程范围可达 200μm |
闭环版本精度更高 |
承载能力300g |
真空版本可选 |
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技术参数 | |||
型号 |
P60.XYZ200S |
P60.XYZ200K |
单位 |
运动方向 |
XYZ |
XYZ |
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驱动控制 |
4路驱动,3路传感 |
4路驱动 |
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标称行程范围(0 ~120 V) |
160 |
160 |
µm±10% |
行程范围(0~150V) |
200 |
200 |
µm±10% |
传感器类型 |
SGS |
- |
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闭/开环分辨率 |
5.5 |
2 |
nm |
闭环线性度 |
0.2 |
- |
%F.S. |
闭环重复定位精度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
空载谐振频率 |
270 |
270 |
Hz±20% |
加载100g负载谐振频率 |
110 |
110 |
Hz±20% |
50%行程空载使用频率 |
20 |
20 |
Hz±20% |
静电容量 |
14/14/7.2 |
14/14/7.2 |
μF±20% |
台体材料 |
铝 |
铝 |
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工作温度范围 |
-20~80 |
-20~80 |
℃ |
承载能力 |
300 |
300 |
g |
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应用案例
硬盘测试 |
显微镜探针校准 |
迈克尔逊干涉仪 |