产品特点
XY 轴行程 18μm/ 轴 |
开 / 闭环可选 |
Z 向行程 8μm |
承载可达 0.5kg |
真空版本可选 |
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技术参数 | ||||
型号 |
S-闭环 K-开环 |
P63.XY18Z8S |
P63.XY18Z8K |
单位 |
运动自由度 |
X、Y、Z |
X、Y、Z |
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驱动控制 |
3路驱动,3路传感 |
3路驱动 |
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标称行程范围(0 ~+120 V) |
XY:16, Z:6 |
XY:16, Z:6 |
μm±10% |
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Max.行程范围(0~+150 V) |
XY:18, Z:8 |
XY:18, Z:8 |
μm±10% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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闭/开环分辨率 |
XY0.6、Z0.2 |
XY0.2、Z0.1 |
nm |
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闭环线性度 |
XY:0.3, Z:1 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.25 |
- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
≤15 |
≤15 |
μrad |
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空载谐振频率 |
X2/Y2/Z1 |
X2/Y2/Z1 |
KHz±20% |
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闭/开环空载阶跃时间 |
8 |
0.5 |
ms±20% |
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承载能力 |
0.5 |
0.5 |
kg |
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静电容量 |
XY:1.8, Z0.8 |
XY:1.8, Z0.8 |
μF±20% |
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工作温度范围 |
-20~80 |
-20~80 |
°C |
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材质 |
铝 |
铝 |
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出线长 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
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重量 |
235 |
235 |
g±5% |
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应用案例
硬盘测试 |
显微镜探针校准 |
迈克尔逊干涉仪 |