产品特点
运动自由度 X |
标称行程范围(0~120V)22μm |
开环分辨率0.5nm |
静电容量7.2μF |
技术参数 | |||
型号 |
P92.X25S |
P92.X25K |
单位 |
运动自由度 |
X |
X |
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驱动控制 |
1路驱动,1路传感 |
1路驱动 |
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标称行程范围(0~120V) |
22 |
22 |
μm±10% |
行程范围(0~150V) |
28 |
28 |
μm±10% |
传感器类型 |
SGS |
- |
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分辨率 |
1 |
0.5 |
nm |
空载谐振频率 |
5000 |
5000 |
Hz±20% |
开环阶跃时间 |
0.3 |
0.3 |
ms |
运动方向刚度 |
50 |
50 |
N/μm±20% |
出力 |
1000 |
1000 |
N |
静电容量 |
7.2 |
7.2 |
μF±10% |
台体材料 |
铝、钢 |
铝、钢 |
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重量 |
1080 |
1080 |
g±5% |
使用温度 |
-25~+80,超过100℃,PZT性能会降低,超过居里温度压电陶瓷将永久退极化 |
℃ |
推荐控制器
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应用案例
快刀伺服超精密微加工系统 |