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压电偏转镜 大负载压电偏转镜 高频压电偏转镜
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    技术参数
 编号 20072 单位
 运动自由度 θx、θy 
 标称行程范围（0~120V） ±4/ 轴 mrad±20%
 静电容量 28.8/ 轴 μF±20％
 加载 Ø100×5mm 镜片谐频 ≥ 300 Hz±20％
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    技术参数
 编号 21019 单位
 运动自由度 θx、θy、Z
 传感器类型 SGS
 θxθy 偏转角度（0~150V） 17 mrad±20%
 Z 向位移（0~150V） 150 μm±20%
 空载谐振频率 1 kHz±20%
 静电容量 3.6 每路 μF±20%
 材质 铝、钢
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    技术参数
 编号 21068 单位
 运动自由度 θx、θy
 标称行程范围（0~150V） 1.7/±0.85 mrad±20%
 传感器类型 SGS
 外形尺寸 40×40×23.6 mm
 带载一阶固有频率
 ( 镜片 34×34×4.9mm）
 		1.6 kHz±20%
 线性度 0.3 %F.S.
 重复定位精度 0.15 %F.S.
 静电容量
 		1.8/ 轴 μF±20%
 材质 钛合金、钢、铝
 出线 侧出线
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    技术参数
 编号 22022 单位
 运动自由度 θx、θy 
 标称行程范围（0~120V） ±4 mrad±20%
 行程范围（0~150V） ±5 mrad±20%
 传感器类型 SGS（全闭环）
 空载谐振频率 3.2 kHz±20%
 带载（镜片 φ25.4mm×4mm）
谐振频率
 		1.9 kHz±20%
 静电容量 3.6/ 轴 μF±20%
 台体材料 钛合金、铝 %F.S.
 驱动通道 3（需恒压） N
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    技术参数
 编号 22143 单位
 运动自由度 X、Y
 传感器类型 SGS
 行程范围（0~150V） ±5/ 轴 mrad±20%
 带载 φ20×3mm 镜片谐振频率 500 Hz±20%
 闭环分辨率 0.5 μrad
 线性度 0.2 %F.S.
 重复定位精度 0.2 %F.S.
 静电容量 1.6/ 轴 μF±20%
 材质 钛、钢
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    技术参数
 编号 19078 单位
 运动自由度 θx、θy
 偏摆角度（0~150V） ±0.25/ 轴 mrad±20%
 工作方式 开环 / 闭环
 空载谐振频率 8000 Hz±20%
 带载谐振频率
(φ35×8mm 镜片 )
 		4500 Hz±20%
 静电容量 1.6/ 轴 μF±20%
 使用频率 2000（@±0.1mrad） Hz±20%
600（@±0.25mrad） Hz±20%
 材质 钛合金
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    经销商 最终用户
  • 客户类型：
    企业 高校 研究所
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