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S31系列压电偏转镜
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产品特点


 θx、θy二维偏转

 偏转范围可达3.8mrad

  分辨率可达0.05μrad

  空载谐振频率可达12kHz

    技术参数

型号

S31.T2S
S31.T2K

单位

运动自由度

θx、θy

 

驱动控制

3路驱动,2路传感

 

标称偏转角度(0~120V)

3/±1.5(≈±309秒)


 mrad±10%

 偏转角度(0~150V)

3.8/±1.9(≈±392秒)

mrad±10% 

传感器类型

SGS/-


闭/开环分辨率

0.5(≈0.1秒)/0.05(≈0.01秒)

μrad

 线性度 0.5/-
%F.S.
 重复定位精度 0.5/-
%F.S.

空载谐振频率

12

KHz±20%

带载谐振频率(负载Φ12.7×3mm 镜片)

9

KHz±20%

静电容量

0.96/ 轴

μF±20%

材质

钢、钛合金


重量(包含线及连接器)

115

g±5%


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Step

参数表/Specs Sheet

使用说明书/Manual



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    企业 高校 研究所
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