产品特点
θx、θy二维偏转 |
偏转范围可达3.8mrad |
分辨率可达0.05μrad |
空载谐振频率可达12kHz |
技术参数 | ||
型号 |
S31.T2S |
单位 |
运动自由度 |
θx、θy |
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驱动控制 |
3路驱动,2路传感 |
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标称偏转角度(0~120V) |
3/±1.5(≈±309秒)
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mrad±10% |
偏转角度(0~150V) |
3.8/±1.9(≈±392秒) |
mrad±10% |
传感器类型 |
SGS/- |
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闭/开环分辨率 |
0.5(≈0.1秒)/0.05(≈0.01秒) |
μrad |
线性度 |
0.5/- |
%F.S. |
重复定位精度 |
0.5/- |
%F.S. |
空载谐振频率 |
12 |
KHz±20% |
带载谐振频率(负载Φ12.7×3mm 镜片) |
9 |
KHz±20% |
静电容量 |
0.96/ 轴 |
μF±20% |
材质 |
钢、钛合金 |
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重量(包含线及连接器) |
115 |
g±5% |
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