技术参数 | ||||
型号 |
轴 |
偏转角度 |
分辨率 |
谐振频率 |
P32 |
θx、θy、Z |
6mrad(≈1230秒)/轴 37.5μm |
0.05μrad(≈0.01秒) 0.5nm |
2kHz |
P33.T1 |
θx、θy |
1.25mrad(≈250秒)/轴 |
0.05μrad(≈0.01秒) |
3.8kHz |
P33.T2 |
θx、θy |
3mrad(≈610秒)/轴 |
0.02μrad(<0.01秒) |
3.7kHz |
P33.T3 |
θx、θy |
5mrad(≈1000秒)/轴 |
0.05μrad(≈0.01秒) |
3.5kHz |
P33.T4 |
θx、θy |
6mrad(≈1230秒)/轴 |
0.1μrad(≈0.02秒) |
3.4kHz |
P33.T5 |
θx、θy |
8.5mrad(≈1700秒)/轴 |
0.12μrad(≈0.02秒) |
3.3kHz |
P33.T6 |
θx、θy |
9mrad(≈1850秒)/轴 |
0.15μrad(≈0.03秒) |
3.2kHz |
P33.T8 |
θx、θy |
12.5mrad(≈2500秒)/轴 |
0.2μrad(≈0.04秒) |
3.1kHz |
P33.U2 |
θx |
3mrad(≈610秒) |
0.02μrad(<0.01秒) |
3.7kHz |
P33.U3 |
θx |
5mrad(≈1000秒) |
0.05μrad(≈0.01秒) |
3.5kHz |
P33.U4 |
θx |
6mrad(≈1230秒) |
0.1μrad(≈0.02秒) |
3.4kHz |
P33.U5 |
θx |
8.5mrad(≈1700秒) |
0.12μrad(≈0.02秒) |
3.3kHz |
P33.U6 |
θx |
9mrad(≈1850秒) |
0.15μrad(≈0.03秒) |
3.2kHz |
P33.U8 |
θx |
12.5mrad(≈2500秒) |
0.2μrad(≈0.04秒) |
3.1kHz |
P34.T1 |
θx、θy |
1.5mrad(≈300秒)/轴 |
0.02μrad(<0.01秒) |
2kHz |
P34.T2 |
θx、θy |
3mrad(≈610 秒)/轴 |
0.1μrad(≈0.02秒) |
1.4kHz |
P34.T4 |
θx、θy |
6mrad(≈1230秒)/轴 |
0.2μrad(≈0.04秒) |
0.9kHz |
P34.T1-B2 |
θx、θy |
1.4mrad(≈289秒)/轴 |
0.05μrad(<0.01秒) |
4kHz |
P34.T2-B2 |
θx、θy |
2.8mrad(≈578秒)/轴 |
0.1μrad(≈0.02秒) |
2.8kHz |
P34.T4-B2 |
θx、θy |
5.6mrad(≈1156秒)/轴 |
0.2μrad(≈0.04秒) |
1.8kHz |
P35.T20 |
θx、θy |
27mrad(≈5569秒)/轴 |
1μrad(≈0.2秒) |
1.75kHz |
P35.T40 |
θx、θy |
43mrad(≈8869秒)/轴 |
1μrad(≈0.2秒) |
1.5kHz |
P35A.T40 |
θx、θy |
50mrad(≈10300秒)/轴 |
1μrad(≈0.2秒) |
1.3kHz |
S22 |
θx |
3mrad(≈610秒) |
0.1μrad(≈0.02秒) |
3kHz |
S23 |
θx、θy、Z |
0.7mrad(≈140秒)/轴 10μm |
0.02μrad(<0.01秒) 0.1 nm |
7.5kHz |
S30.T1 |
θx、θy |
1.5mrad(≈300秒)/轴 |
0.02μrad(<0.01 秒) |
15kHz |
S30.T2 |
θx、θy |
3mrad(≈610秒)/轴 |
0.03μrad(<0.01 秒) |
15kHz |
S34.T2S/KF |
θx、θy |
2.5mrad(≈500秒)/轴 |
< 1μrad(<0.2秒) |
1.7kHz |
S34.T2S/KY |
θx、θy |
1mrad(≈200秒)/轴 |
0.02μrad(<0.01秒) |
2.8kHz |
S37.T2 |
θx、θy |
3.5mrad(≈722秒)/轴 |
0.1μrad(≈0.02秒) |
6.5kHz |
S37.T3 |
θx、θy |
5.5mrad(≈1134秒)/轴 |
0.15μrad(≈0.03秒) |
6.4kHz |
S37.T4 |
θx、θy |
6.8mrad(≈1403秒)/轴 |
0.25μrad(≈0.05秒) |
6.3kHz |
S37.T5 |
θx、θy |
9.5mrad(≈1960 秒)/轴 |
0.3μrad(≈0.06秒) |
6.2kHz |
S37.T6 |
θx、θy |
10mrad(≈2063秒)/轴 |
0.35μrad(≈0.07秒) |
6.1kHz |
S37.T8 |
θx、θy |
13.5mrad(≈2785秒)/轴 |
0.5μrad(≈0.1秒) |
6kHz |
S38.T1 |
θx、θy |
1.5mrad(≈300秒)/轴 |
0.02μrad(<0.01 秒) |
7kHz |
S38.T2 |
θx、θy |
3mrad(≈610秒)/轴 |
0.04μrad(<0.01 秒) |
2kHz |
S38.T1-C1 |
θx、θy |
1.5mrad(≈300秒)/轴 |
0.02μrad(<0.01 秒) |
7kHz |
S38.T2-C1 |
θx、θy |
3mrad(≈610秒)/轴 |
0.04μrad(<0.01 秒) |
2kHz |
XD304.T1-B1 |
θx、θy |
±0.5mrad(≈±100秒)/轴 |
- |
15kHz |
XD304.T2-B1 |
θx、θy |
±1.2mrad(≈±247秒)/轴 |
- |
10kHz |
19078 |
θx、θy |
±0.25mrad(≈±50秒)/轴 |
- |
8kHz |
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |