S51 系列三维θxθyZ向压电偏摆台 100μm 中孔80mm×80mm当前位置:产品首页 >> 压电偏摆台>>S51 系列三维θxθyZ向压电偏摆台 100μm 中孔80mm×80mm
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压电偏摆/旋转台系列是通过压电陶瓷驱动进行精密角度调整,内部采用无回差柔性铰链并联结构设计,产品较高的偏转精度和高的稳定性且响应速度快,是激光光束扫描以及激光合束等光路调整的理想选择。


S51 系列是中心通孔三维θxθyZ轴压电偏摆台,采用无摩擦柔性铰链结构设计,响应速度快、闭环定位精度高,80×80mm中心大通孔方便集成于显微及扫描等光学系统中。


产品特点


 θx, θy偏摆运动

 Z向100μm直线运动

 闭环定位精度高

 80×80mm大通光孔

 分辨率高

 外形超薄

 响应速度快

 


外观形状

产品运动示意图

闭环曲线

超高导向精度、分辨率高、闭环传感精度高

S51 系列压电偏转台为θx,θy轴偏摆Z轴升降台,偏转行程为±1.1mrad,Z轴直线行程可达100μm。
      S51 偏转台台体采用无回差柔性铰链导向结构,采用有限元分析进行优化,具有高的刚度以及导向精度。
      可选择内置精密传感器进行全闭环位置反馈,确保其具有高的运动控制精度,直线运动分辨率可达到亚纳米级、偏转分辨率达亚微弧度、定位稳定时间为毫秒量级。

频率负载曲线

仿真分析

通过有限元FEA优化的铰链用于导向机构偏转台。有限元分析技术用于设计运动方向上的刚度,并减少角度偏差。铰链部分允许高精度的运动,因为铰链机构无间隙、无摩擦。

超薄的设计适用于显微应用且可负载大镜片

S51 压电偏转台中心通光孔达80×80mm,适用于需要透射光的应用,负载后仍可高动态高精度的扫描。
      S51 系列偏摆/倾斜、升降台是专门为对准、纳米聚焦、计量等应用设计的,台体非常薄,厚度仅为20mm,易于集成到高精度显微镜中。

驱动方式-校准调测

震动实验

驱动方式

S51 压电偏转台θxθy两轴采用90。相差输入,并配合Z轴升降运动,再通过控制电压的大小,对于固定的光路距离,可进行一定范围的锥形范围扫描,如下图所示。


产品应用


 光束扫描

 激光合束对准与激光致盲

 干涉/计量

 空间扰动模拟系统

 光路调整

 掩模与晶片位置调整

 光学显微成像

 SPM扫描显微

 掩模/晶圆定位

 生物技术

 表面结构分析


    技术参数

型号

尾缀S-闭环

S51.ZT1S

S51.ZT1K

单位

尾缀K-开环

 运动自由度

θx,θy,Z

θx,θy,Z

 

 驱动控制

3路驱动,3路传感 3路驱动

 标称直线行程范围0~+120V

80

80

µm±10%

 直线行程范围(0~+150V

100

100

µm10%

 标称偏转角度(0~+120V

±0.9

±0.9

mrad/轴±10%

 偏转角度(0~+150V

±1.1

±1.1

mrad/轴±10%

 传感器类型

SGS

-

 

 Z向直线分辨率

7

4

nm

 θx, θy偏摆分辨率

0.25

0.05

µrad

 闭环线性度

0.1

-

%F.S.

 闭环重复定位精度

0.05

-

%F.S.

 机械性能

 /拉力

120/15

120/15

N

 Z向刚度

1.5

1.5

N/µm±20%

 空载谐振频率

0.34

0.34

kHz±20%

 空载阶跃时间

30

4.5

ms±20%

 承载能力

1

kg

 驱动性能

 静电容量

5.4

5.4

μF/轴±20%

 其他

 工作温度范围**

-20~80

-20~80

°C

 材质

钢、铝

钢、铝

 

 外形尺寸(长×宽×高)

150×150×20

150×150×20

mm

 通光孔径

80×804×R5***

80×804×R5***

mm

 重量

820

820

g±5%

 出线长

1.5

1.5

m±10mm

 传感/电压连接器***

LEMO

LEMO

** 可定制低温版本及高真空版本。

***代表通光孔4个角弧形半径为5mm。

**** 连接器可定制。

注:以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 

注:以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得,Max.驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
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    尺寸图、参数表、使用说明书下载
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Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual


应用案例


晶圆表面检测


晶圆表面检测


陶瓷转接头

氧化铝转接头

金属转接头

促动器柔性转接头

       

钨钢垫片

热稳定散热片

促动器与平台转接座

促动器测试支架

       

粘镜片胶水

P34 镜片转接架

P32/ P33 镜片转接架

P32/P33 镜片转接座

       

P22 测试支架

P32/P33 测试支架

P34 测试支架

P31/P54 测试支架

       

BNC转LEMO

BNC转鱼夹

单芯LEMO座转鱼夹

单芯LEMO线

       

BNC连接头转鱼夹

LEMO 连接器

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磁力表座

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