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压电直线与旋转台 压电偏摆台
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    技术参数
 编号 20060 单位
 运动自由度 θx、θy
 传感器 SGS
 标称行程范围 (0~120V) ±1 mrad±20%
 行程范围 (0~150V) ±1.25 mrad±20%
 闭 / 开环分辨率 0.25/0.05 μrad
 闭环线性度 0.2/- %F.S.
 闭环重复定位精度 0.1/- %F.S.
 空载谐振频率 200 Hz±20%
 推 / 拉力 100/20 N±20%
 静电容量 14.4/轴 μF±20%
 承载 5 kg±5%
 材质 钢、铝
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    技术参数
 编号 21031 单位
 运动自由度 θz
 传感器 SGS
 行程范围 (0~150V) 2 mrad±20%
 开环分辨率 0.02 μrad±20%
 20mV 纹波闭环分辨率 0.3（预估） μrad±20%
 重复定位精度 0.1 %F.S. ±20%
 空载谐振频率 3000 Hz±20%
 静电容量 3.6 μF±20%
 承载能力 1 kg±5%
 材质 铝
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    技术参数
 编号 21075 单位
 运动自由度 θx、θy、Z
 标称直线行程（0~120V） 200 μm±5%
 直线行程（0~150V） 250 μm±5%
 标称偏转范围（0~120V） ±1.6 mrad±20%
 偏转范围（0~150V） ±2 mrad±20%
 外形尺寸 150×150×40 mm^3
 传感器类型 SGS
 闭 / 开环直线分辨率 20/10 nm
 闭 / 开环偏摆分辨率 0.25/0.05 μrad
 闭环线性度 0.2 %F.S.
 闭环重复定位精度 0.1 %F.S.
 推 / 拉力 100/20 N
 空载谐振频率 180/180/150 Hz±20%
 承载能力 3 kg
 静电容量 X14.4/Y14.4/Z36 μF±20%
 材质 钢、铝
 重量 2.5 kg±10%
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    技术参数

型号

21087-1

21087-2

单位

 运动自由度

θz

θz

 

 驱动控制

3 路驱动

3 路驱动


 标称行程范围（0~120V）

0.4

0.4

mrad±20%

 行程范围（0~150V）

0.5

0.5

mrad±20%

 传感器类型

SGS

SGS


 外形尺寸

220×220×90

170×170×76

mm

 闭 / 开环分辨率

0.03/0.01

0.03/0.01

μrad

 闭环线性度

0.2

0.2

%F.S.±20%

 闭环重复定位精度

0.1

0.1

%F.S.±20%

 空载谐振频率

650

800

Hz±20%

 承载能力

50

20

kg

 静电容量

28.8/ 轴

21.6/ 轴

μF±20%

 材质

钢、铝

钢、铝


 重量

15

8

kg±5%

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    技术参数
 编号 21101 单位
 运动自由度 θz
 行程范围 (0~150V) 1.5 mrad±20%
 开环分辨率 0.03 μrad±20%
 闭环重复定位精度 0.2 %F.S. ±20%
 空载固有频率 9000 Hz±20%
 使用频率 @30g、10μrad 0.9 kHz±20%
 静电容量 3.6 μF±20%
 重量（不含线） <0.1 kg±20%
 材质 钢
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    技术参数
 编号 21180 单位
 运动自由度 θx、θy、Z
 直线行程范围（0~150V） 500 μm±20%
 偏摆角度（0~150V） ±1/ 轴 mrad±20%
 传感器类型 SGS，全闭环高精度
 闭环 Z 向分辨率 67@20mV 纹波 nm
 闭环偏摆分辨率 0.3 μrad
 闭环线性度 0.4 %F.S.
 闭环重复定位精度 0.25 %F.S.
 空载谐振频率 30 Hz±20%
 带载 1.5kg 谐振频率 20 Hz±20%
 承载能力 1.5 kg
 最大轴（Z 向）静电容量 86.4 μF±20%
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    技术参数
 编号 21205 单位
 运动自由度 θx、θy
 行程范围 (0~150V) ±3.5 mrad±20%
 传感器类型 SGS，全闭环高精度
 空载谐振频率 170 Hz±20%
 带载谐振频率 
(@10×10×2mm镜片）
 		160 Hz±20%
 静电容量 10.8/ 轴 μF±20%
 台体材料 钢、铝
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    技术参数
 编号 22033 单位
 运动自由度 θz
 行程范围 (0~150V) 1 mrad±20%
 传感器类型 SGS
 闭环分辨率 0.03 μrad±20%
 线性度
 		0.2 %F.S.
 重复定位精度 0.1 %F.S.
 承载能力 6 kg±5%
 静电容量 14.4 μF±20%
 材质 钢、铝
 重量 2 kg±10%
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    技术参数
 编号 22038 单位
 运动自由度 θz
 XY 行程范围（0~150V） 50/ 轴 μm±20%
 θz 行程范围（0~150V） 9 mrad±20%
 XY 开 / 闭环分辨率 0.5/2 nm±20%
 θz 开 / 闭环分辨率 0.1/0.3 μrad±20%
 传感器类型 SGS
 线性度
 		0.2 %F.S.
 重复定位精度 0.15 %F.S.
 XY 静电容量 5.4 μF/ 轴 ±20%
 θz 静电容量 21.6 μF/ 轴 ±20%
 承载能力 0.2 kg±5%
 材质 不锈钢、铝合金
 重量 <0.5 kg±5%
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    技术参数
 编号 22044 单位
 运动自由度 θx、θy
 行程范围 (0~150V) 20/ 轴 角秒
 传感器类型 SGS（全闭环）
 闭 / 开环分辨率 0.2/0.1 μrad±20%
 闭环线性度 0.2 %F.S.±20%
 闭环重复定位精度 0.1 %F.S.±20%
 空载谐振频率 1000 Hz±20%
 承载能力 5 kg
 带载 4kg 闭环阶跃 6.5 ms±20%
 静电容量 7.2/ 轴 μF±10%
 台体材质 钢、铝
 台体质量 5  kg±10%
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    技术参数
 编号 22064 单位
 运动自由度 θx
 行程范围 (0~150V) 0.3 mrad±20%
 空载谐振频率 1000 Hz±20%
 承载能力 10 kg
 带载 10kg、0.1mrad
转角使用频率
 		100 Hz±20%
 静电容量 14.4/轴 μF±10%
 台体质量 5.5 kg±10%
 台体材质 钢、铝
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    技术参数
 编号 22104 单位
 运动自由度 θx、θy
 行程范围 (0~150V) 1.5 mrad±20%
 传感器 SGS
 承载能力 2 kg±5%
 空载固有频率 400 Hz±20%
 闭环分辨率 0.5 μrad
 线性度 0.2 %F.S.
 重复定位精度 0.1 %F.S.
 静电容量 7.2/轴 μF±20%
 材质 钢、铝
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  • 客户类别：
    经销商 最终用户
  • 客户类型：
    企业 高校 研究所
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