S51.ZT0S/K-B1 系列压电偏摆台是一款定制型压电偏摆台,可产生 θx、θy 两轴偏转及 Z 向直线运动,中心具有大型通孔,适于透射光等应用。
产品特点
θx、θy 偏摆,Z 向升降 |
闭环定位精度高 |
响应速度快 |
透光孔:200×200mm |
可选真空版本 |
|
|
|
产品应用
扫描显微 |
激光合束对准 |
干涉 / 计量 |
空间扰动模拟系统 |
生物技术 |
掩模与晶片位置调整 |
|
|
技术参数 | |||
型号 |
S51.ZT0S-B1 |
S51.ZT0K-B1 |
单位 |
运动自由度 |
θx θy Z |
θx θy Z |
|
驱动控制 |
3路驱动,3路传感 |
3路驱动 |
mrad±10% |
标称直线行程范围(0~120V) |
90 |
90 |
mrad±10% |
直线行程范围(0~150V) |
110 |
110 |
mrad±10% |
标称偏摆角度(0~120V) |
±0.32/ 轴 |
±0.32/ 轴 |
mrad±10% |
偏摆角度(0~150V) |
±0.4/ 轴 |
±0.4/ 轴 |
mrad±10% |
传感器类型 |
SGS |
- |
|
Z 向闭 / 开环分辨率 |
10 |
3 |
nm |
θx、θy 闭 / 开环分辨率 |
0.25 |
0.1 |
μrad |
闭环线性度 |
0.05 |
- |
%F.S. |
闭环重复定位精度 |
0.03 |
- |
%F.S. |
Z 向推力 |
500 |
500 |
N |
Z 向刚度 |
8 |
8 |
N/μm |
空载谐振频率 |
230 |
230 |
Hz±20% |
加载3kg谐振频率 |
150 |
150 |
Hz±20% |
阶跃时间 |
40@3kg |
10 |
ms±20% |
承载能力 |
5 |
5 |
kg |
静电容量 |
7.2/ 轴 |
7.2/ 轴 |
μF±20% |
材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
|
重量 |
5( 不含线 ) |
5( 不含线 ) |
kg |
|
|