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S50.U0C/K 系列大负载压电偏摆台，是一维 θx 偏转台，它是专为 大负载应用而设计，如模拟空间绕动应用。
S50.U0C/K 系列大负载压电偏摆台的负载方式是立式安装，它的负载能力达 7kg，100V 驱动电压下的偏转角度为 0.19mrad，对 应的闭环阶跃时间为 17ms。
产品特点
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| 技术参数 | ||
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型号 |
S50.U0C/K |
单位 |
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运动自由度 |
θx |
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驱动控制 |
2 路驱动，1路传感 |
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标称偏转角度（0~+100V） |
0.19 |
mrad±10% |
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传感器类型 |
CAP/- |
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闭环线性度 |
1.25/- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
1/- |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
1000 |
Hz±20% |
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加载7kg谐振频率 |
210 |
Hz±20% |
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空载闭/开环阶跃时间 |
17/16 |
ms±20% |
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承载能力 |
7 |
kg |
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静电容量 |
40 |
μF±20% |
注：以上参数是采用 E00/E01 系列压电控制器测得。驱动电压可在-20V~150V；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0~120V。
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应用案例
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晶圆表面检测 
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