S50.UR0C/K 系列二维θx, θz向压电偏摆台 ±0.25mrad当前位置:产品首页 >> 压电偏摆台>>S50.UR0C/K 系列二维θx, θz向压电偏摆台 ±0.25mrad
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S50.UR0C/K 系列为 θx、θz 轴偏摆 / 旋转台,承载能力可达40kg,偏转角度 ±0.25mrad。可带载 20kg负载高频率使用。产品主要应用于大负载偏摆 / 旋转运动实验,例如模拟空间扰动实验等。


产品特点


 θx, θz偏摆/旋转,角度位移达±0.25mrad/轴

 承载可达40kg

 闭环定位精度高

 电容式闭环传感器

 外形坚固

 响应速度快

 

 


外观形状

产品运动示意图

闭环曲线

大承载、高精度、高频率

S50.UR0C/K  θx, θz二维偏摆/旋转台是为空间扰动实验而设计的大承载偏摆系统,具有电容闭环幅值校正功能,可以带40kg负载做精密偏转,行程可达±0.25mrad。

S50.UR0C/K 压电偏转台采用有限元分析对结构进行优化,具有高的刚度,即使其在负载的情况下仍然可以实 现高动态,频率可以达到500Hz。

频率负载曲线

驱动测试实验

S50.UR0C/K大负载θx, θz二维偏摆/旋转台需要三通道控制器进行驱动控制,根据所需使用频率配套不同功率的压电控制器。如100~200Hz使用频率,我们推荐配套E00/E01系列控制器选择E05驱动模块。

可定制

S50.UR0C/K压电偏摆/旋转台参数可接受定制。


产品应用


 光束扫描

 图像处理/稳定

 光学

 激光扫描

 通信

 光线偏转

 干涉/计量

 空间扰动模拟系统

 光路调整

 掩模与晶片位置调整

 光学显微成像

 SPM扫描显微镜

    20kg负载后使用频率与振动幅度的关系

角振幅度
mrad±20%

频段 θx
Hz±20%

频段 θz
Hz±20%

±0.1

0-100

0-130

±0.05

0-170

0-300

±0.02

0-180

0-400

±0.01

0-180

0-500

    技术参数

型号

尾缀C-闭环

尾缀K-开环

S50.UR0C

S50.UR0K

单位

运动自由度

θx, θz

 

驱动控制

3 路驱动

 

标称偏摆角度(0~+120V)

0.4/轴(≈80秒)

mrad±10%

最大偏摆角度(0~+150V)

0.5/轴(≈100秒)

mrad±10%

传感器类型

CAP/-

 

/开环分辨率

0.02/0.01(0.01秒)

μrad

闭环线性度

0.3/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.2/-

%F.S.

空载谐振频率

θx500/θz750

Hz±20%

/开环空载阶跃时间

30/15

ms±20%

20kg负载后

使用频率与振

动幅度的关系

角振幅度

±0.1

±0.05

±0.02

±0.01

mrad±20%

频段 θz

0-130

0-300

0-400

0-500

Hz±20%

频段 θx

0-100

0-170

0-180

0-180

Hz±20%

最大承载

40

kg

静电容量

30/

μF±20%

材质

铝、钢

 

重量

16

kg±5%

注:以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得,Max.驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。

** 可定制低温版本及高真空版本。 

*** 连接器可定制。 

注:以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
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    尺寸图、参数表、使用说明书下载
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Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual


应用案例


晶圆表面检测


晶圆表面检测


陶瓷转接头

氧化铝转接头

金属转接头

促动器柔性转接头

       

钨钢垫片

热稳定散热片

促动器与平台转接座

促动器测试支架

       

粘镜片胶水

P34 镜片转接架

P32/ P33 镜片转接架

P32/P33 镜片转接座

       

P22 测试支架

P32/P33 测试支架

P34 测试支架

P31/P54 测试支架

       

BNC转LEMO

BNC转鱼夹

单芯LEMO座转鱼夹

单芯LEMO线

       

BNC连接头转鱼夹

LEMO 连接器

测试支架

磁力表座

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