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压电偏摆/旋转台系列是通过压电陶瓷驱动进行精密角度调整，内部采用无回差柔性铰链并联结构设计，产品较高的偏转精度和高的稳定性且响应速度快，是激光光束扫描以及激光合束等光路调整的理想选择。
S20系列压电旋转台为一维θz旋转台，中心透空孔直径20mm，产品体积小巧，旋转角度可达0.5mrad，重复定位精度达0.2%F.S.,可带动镜片做精密旋转运动。
产品特点
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外观形状 
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闭环曲线 
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频率负载曲线 
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大承载、高精度、高频率
S20为一维θz高精度旋转平台，旋转轴位于正中心，中心通孔用于透射光应用，采用有限元分析对微结构进行优化，满足动态性以及平面导向精度。 |
阶跃时间短 S20系列压电旋转台行程阶跃时间约0.7ms。 
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产品应用
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
尾缀S-闭环 |
S20.R0S |
S20.R0K |
单位 |
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尾缀K-开环 |
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运动自由度 |
θz |
θz |
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驱动控制 |
1路驱动，1路传感 |
1路驱动 |
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标称旋转角度（0~+120V） |
0.4（≈80 秒） |
0.4（≈80 秒） |
mrad±20% |
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旋转角度（0~150V） |
0.5（≈100 秒） |
0.5（≈100 秒） |
mrad±20% |
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传感器类型 |
SGS |
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分辨率 |
0.25（≈0.5 秒） |
0.05（≈0.01 秒） |
µrad |
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闭环线性度 |
0.5 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.2 |
- |
%F.S. |
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机械性能 |
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推/拉力 |
50/10 |
50/10 |
N |
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运动方向刚度 |
5 |
5 |
N/µm±20% |
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空载谐振频率 |
3.5 |
3.5 |
kHz±20% |
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空载阶跃时间 |
8 |
0.7 |
ms±20% |
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承载能力 |
4 |
4 |
kg |
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驱动性能 |
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静电容量 |
1.6 |
1.6 |
μF±20% |
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其他 |
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工作温度范围** |
-20~80 |
-20~80 |
°C |
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材质 |
钢 |
钢 |
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外形尺寸,（外径-内径)×高 |
(50-20)×20 |
(50-20)×20 |
mm |
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重量 |
140 |
140 |
g±5% |
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出线长 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
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传感/电压连接器*** |
LEMO |
LEMO |
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** 可定制低温版本及高真空版本。
*** 连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。
注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，Max.驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
应用案例
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晶圆表面检测 
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |
