产品特点
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技术参数 | |||
型号 |
S50.UR1S |
S50.UR1K |
单位 |
运动自由度 |
θx θz |
θx θz |
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驱动控制 |
3 路驱动,2路传感 |
3 路驱动 |
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标称行程范围(0~120V) |
1/轴 |
1/轴 |
mrad±10% |
Max.行程范围(0~150V) |
1.3/轴 |
1.3/轴 |
mrad±10% |
传感器 |
SGS |
- |
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分辨率 |
0.03 |
0.03 |
μrad |
线性度 |
0.2 |
- |
%F.S. |
重复定位精度 |
0.07 |
- |
%F.S. |
空载谐振频率 |
604/726 |
604/726 |
Hz±20% |
加载20kg谐频 |
68/155 |
68/155 |
Hz±20% |
闭/开环空载阶跃时间 |
50 |
20 |
ms±20% |
承载能力 |
20 |
20 |
kg |
静电容量 |
36/44.3 |
36/44.3 |
μF±20% |
材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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重量 |
9.5 |
9.5 |
kg±5% |
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应用案例
晶圆表面检测 ![]() |