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P33S2T25宏微复合压电快反镜/偏转镜由芯明天微运动控制P33.T2SF高分辨率高动态压电偏转镜和手调镜架组合而成。手调宏动行程可达±6°/轴，微动部分偏摆行程可达3.5mrad/轴。整体结构可实现大角度行程范围，同时微动部分可实现0.05μrad分辨率，适用于大角度、高精度应用。
产品特点
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| 技术参数 | ||
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型号 |
P33S2T25 |
单位 |
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运动自由度 |
θx、θy |
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手调偏转行程 |
12 | ° |
| 压电驱动 | ||
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运动自由度 |
θx、θy |
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驱动控制 |
3 路驱动，2 路传感 |
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标称偏摆行程（0~120V） |
2.8/轴（≈578秒） |
mrad±10% |
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Max.偏摆行程（0~150V） |
3.5/轴（≈722秒） |
mrad±10% |
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传感器类型 |
SGS |
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分辨率 |
0.05（≈0.01秒） |
μrad |
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线性度 |
θx0.06/θy0.09 |
%F.S. |
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重复度 |
θx0.08/θy0.06 |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
θx2700/θy4700 |
Hz±20% |
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带载谐振频率@36g |
θx1780/θy1850 |
Hz±20% |
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阶跃时间 |
5@36g |
ms±20% |
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静电容量 |
3.6/轴 |
μF±20% |
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出线长 |
1.5 |
m±10mm |
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其他 |
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| 材质 |
钢、铝 |
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重量（整体） |
300（含线） |
g±5% |
