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N31 系列直线压电马达位移台，内部采用 PZT 压电式驱动，直线运动行程可选6、10、 25、50、100mm，可达亚纳米级分辨率。可选配闭环伺服传感器（光栅传感器），具有更高的定位精度。
可选移动台面。
产品特点
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可选移动台面 
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N31.100E 
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结构原理 
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| 技术参数 | |||||||
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型号 |
尾缀E-闭环 尾缀K-开环 |
N31.6E N31.6K |
N31.10E N31.10K |
N31.25E N31.25K |
N31.50E N31.50K |
N31.100E N31.100K |
单位 |
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运动自由度 |
X |
X |
X |
X |
X |
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集成传感器类型 |
光栅传感器/- |
光栅传感器/- |
光栅传感器 |
光栅传感器/- |
光栅传感器/- |
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标称行程范围 |
6或±3 |
10或±5 |
25或±12.5 |
50或±25 |
100或±50 |
mm±0.5mm |
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速度上限 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
mm/s |
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闭/开环分辨率 |
＜50/1 |
＜50/1 |
＜50/1 |
＜50/1 |
＜50/1 |
nm |
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线性度 |
1/- |
1/- |
1/- |
1.5/- |
2/- |
μm |
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重复度 |
0.5/- |
0.5/- |
1/- |
1.5/- |
2/- |
μm |
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推/拉力（主动） |
30 |
30 |
30 |
30 |
30 |
N |
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保持力（被动） |
40 |
40 |
40 |
40 |
40 |
N |
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Max.承载（水平方向） |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
Kg |
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工作温度 |
0~50 |
0~50 |
0~50 |
0~50 |
0~50 |
℃ |
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质量（包含电缆） |
545 |
550 |
565 |
590 |
640 |
g±5% |
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材质 |
铝，不锈钢 |
铝，不锈钢 |
铝，不锈钢 |
铝，不锈钢 |
铝，不锈钢 |
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电缆长度 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
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推荐控制器 |
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参数表/Specs Sheet |
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三维图/step |
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应用案例
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低温真空 
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