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N31系列三维闭环压电马达可在XYZ三个方向运动，配备有光栅传感器进行闭环控制。内部采用PZT压电式驱动，每轴运动行程可选25、50、100mm，可达纳米级分辨率。
产品特点
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产品应用
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
N31.XY50Z25E |
N31.XY50Z100E |
N31.XY100Z25E |
单位 |
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运动自由度 |
X、Y、Z |
X、Y、Z |
X、Y、Z |
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集成传感器类型 |
光栅传感器 |
光栅传感器 |
光栅传感器 |
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标称行程范围 |
XY：±25 Z：±12.5 |
XY：±25 Z：±50 |
XY：±50 Z：±12.5 |
mm |
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速度上限 |
2.5 |
2.5 |
2.5 |
mm/s±20% |
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闭 / 开环分辨率 |
80 |
80 |
80 |
nm±20% |
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双向重复定位精度 |
3 |
3 |
3 |
μm±20% |
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承载能力 |
2.5 |
2.5 |
2.5 |
kg |
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工作温度 |
0~40 |
0~40 |
0~40 |
℃ |
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质量（包含电缆） |
4.2 |
4.7 |
5.3 |
kg±5% |
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材质 |
铝、钢 |
铝、钢 |
铝、钢 |
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电缆长度 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
应用案例
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笼式结构 
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低温真空 
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