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电容测微仪为一种非接触式的位移测量仪器，它由电容传感探头和传感及供电模块组成。它可以测量 0~1mm范围内的微小位移，测量精度高达纳米级。
产品特点
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 方形电容传感测头
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原理 它基于一个理想的平行板电容器原理，传感器与相对面被测目标形成的两个电极，采用保护环电容器原理，用于测量任何金属时，传感器仍是线性的。 
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外形尺寸图 |
典型应用
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| 振动，振幅，间隙，跳动 | 挠度，形变，纹波度，倾角 | 扭曲，形变，轴向振动 | 位移，距离，位置，伸长率 |
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| 尺寸，尺寸公差，筛选，部件识别 | 绝缘体厚度测量 | 在线检测，尺寸检测 | 双侧厚度检测 |
| 技术参数 | |||
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型号 |
E01.CapX-200 |
单位 |
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电容传感探头 |
通道数 |
1~6可选 |
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型号 |
C02F13 |
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量程范围 |
0~200 |
μm |
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静态分辨率 |
2.5 |
nm |
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动态分辨率（1kHz） |
100 |
nm |
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线性度 |
100 |
nm |
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重复度 |
5 |
nm |
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传感器直径 |
9 |
mm |
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被测表面最小直径 |
9 |
mm |
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传感器线长 |
2 |
m |
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固定方式 |
径向装夹 |
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探头尺寸 |
13×13×4.3 |
mm |
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重量（含线及连接器） |
33 |
g |
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传感与信号处理 |
型号
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E09.Cap1-100 |
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传感器模式 |
CAP |
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单模块通道数 |
1 |
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模块使用数量
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1~6（取决于通道数） |
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静态分辨率 |
0.00125 |
%F.S. |
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| 动态分辨率（2kHz） | 0.05 |
%F.S. |
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| 模拟信号输出速度 | 2 |
kHz |
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绝对误差 |
±0.2 |
%F.S. |
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线性度 |
0.05 |
%F.S. |
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重复精度 |
0.0025 |
%F.S. |
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信号温度稳定性 |
＜0.005 |
%FSO/℃ |
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长期稳定性 |
＜0.004 |
%FSO/月 |
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带宽 |
2 |
kHz（-3dB） |
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工作温度 |
-10~+50 |
℃ |
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存储温度 |
-10~+75 |
℃ |
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环境湿度 |
＜85 |
% | |
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传感器输出接口 |
BNC |
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| 机箱与供电 |
供电模式 |
AC 220V±10％，50Hz±10％ |
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长×高×深 |
280×175 ×375 |
mm |
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| 重量 |
≈7 |
kg±5% |
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注：E01.CapX-200的型号中，X代表通道数，可选1~6。预热时间约30分钟。
