电容测微仪为一种非接触式的位移测量仪器,它由电容传感探头和传感及供电模块组成。它可以测量 0~1mm范围内的微小位移,测量精度高达纳米级。
产品特点
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原理 它基于一个理想的平行板电容器原理,传感器与相对面被测目标形成的两个电极,采用保护环电容器原理,用于测量任何金属时,传感器仍是线性的。 ![]() |
典型应用
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振动,振幅,间隙,跳动 | 挠度,形变,纹波度,倾角 | 扭曲,形变,轴向振动 | 位移,距离,位置,伸长率 |
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尺寸,尺寸公差,筛选,部件识别 | 绝缘体厚度测量 | 在线检测,尺寸检测 | 双侧厚度检测 |
技术参数 | |||
型号 |
E00.CapX-500 |
单位 |
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电容传感探头 |
通道数 |
7~12可选 |
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型号 |
C05D10 |
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量程范围 |
0~500 |
μm |
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静态分辨率 |
5 |
nm |
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动态分辨率(1kHz) |
200 |
nm |
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线性度 |
200 |
nm |
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重复度 |
10 |
nm |
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传感器直径 |
10 |
mm |
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被测表面最小直径 |
10 |
mm |
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传感器线长 |
1.5 |
m |
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固定方式 |
径向装夹 |
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探头尺寸 |
Φ10×18.5 |
mm |
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重量(含线及连接器) |
55 |
g |
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传感与信号处理 |
型号
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E09.Cap1-100 |
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传感器模式 |
CAP |
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单模块通道数 |
1 |
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模块使用数量
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7~12(取决于通道数) |
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静态分辨率 |
0.00125 |
%F.S. |
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动态分辨率(2kHz) | 0.05 |
%F.S. |
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模拟信号输出速度 | 2 |
kHz |
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绝对误差 |
±0.2 |
%F.S. |
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线性度 |
0.05 |
%F.S. |
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重复精度 |
0.0025 |
%F.S. |
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信号温度稳定性 |
<0.005 |
%FSO/℃ |
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长期稳定性 |
<0.004 |
%FSO/月 |
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带宽 |
2 |
kHz(-3dB) |
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工作温度 |
-10~+50 |
℃ |
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存储温度 |
-10~+75 |
℃ |
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环境湿度 |
<85 |
% | |
传感器输出接口 |
BNC |
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机箱与供电 |
供电模式 |
AC 220V±10%,50Hz±10% |
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长×高×深 |
500×175 ×375 |
mm |
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重量 |
≈12 |
kg±5% |
注:E00.CapX-500的型号中,X代表通道数,可选7~12。预热时间约30分钟。