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电容测微仪为一种非接触式的位移测量仪器，它由电容传感探头和传感及供电模块组成。它可以测量 0~1mm范围内的微小位移，测量精度高达纳米级。
产品特点
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原理 它基于一个理想的平行板电容器原理，传感器与相对面被测目标形成的两个电极，采用保护环电容器原理，用于测量任何金属时，传感器仍是线性的。 
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产品组成 芯明天具有多种量程的电容传感测头，测量范围可选100μm~1mm范围。它可组合机箱式E09、板卡式E09或小体积E75传感及供电模块中的任意一种使用。 
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型号解读（电容测微仪） |
型号解读（电容传感测头） |
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E09机箱式传感及供电模块 
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E09板卡式传感供电模块（无供电） 
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E75小体积传感及供电模块 |
典型应用
芯明天电容测微仪适用于高精度定位、角度/直线振动测量、厚度检测（薄膜厚度测量、晶圆厚度测量、刹车盘厚度测量、油膜厚度测量等）、旋转机械间隙测量、跳动测量（轴跳测量等）、自动对焦或调零、介电常数测量、天文望远镜镜片定位、外径测量、形变测量等。
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| 振动，振幅，间隙，跳动 | 挠度，形变，纹波度，倾角 | 扭曲，形变，轴向振动 | 位移，距离，位置，伸长率 |
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| 尺寸，尺寸公差，筛选，部件识别 | 绝缘体厚度测量 | 在线检测，尺寸检测 | 双侧厚度检测 |
可选配测试支架
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| 磁力表座 | 大理石测试支架 |
| 产品目录 | |||||||||
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序号 |
电容测微仪型号 |
测量范围 [μm] |
通道数 |
探头型号 |
探头分辨率 [nm] |
探头线性度 [nm] |
测头重复度 [nm] |
传感及供电 |
详情页 |
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1 |
E01.CapX[1]-100 |
0~100 |
1~6 |
C01D10 |
1.25 |
50 |
2.5 | 机箱式 | |
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2 |
E01.CapX[1]-200 |
0~200 |
1~6 |
C02D10 |
2.5 |
100 |
5 |
机箱式 |
|
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3 |
0~200 |
1~6 |
C02F13 |
2.5 |
100 |
5 |
机箱式 |
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4 |
E01.CapX[1]-500 |
0~500 |
1~6 |
C05D10 |
5 |
200 |
10 |
机箱式 |
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5 |
E01.CapX[1]-1000 |
0~1000 |
1~6 |
C1D10 |
10 |
400 |
20 |
机箱式 |
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6 |
E00.CapX[2]-100 |
0~100 |
7~12 |
C01D10 |
1.25 |
50 |
2.5 |
机箱式 |
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7 |
E00.CapX[2]-200 |
0~200 |
7~12 |
C02D10 |
2.5 |
100 |
5 |
机箱式 |
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8 |
0~200 |
7~12 |
C02F13 |
2.5 |
100 |
5 |
机箱式 |
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9 |
E00.CapX[2]-500 |
0~500 |
7~12 |
C05D10 |
5 |
200 |
10 |
机箱式 |
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|
10 |
E00.CapX[2]-1000 |
0~1000 |
7~12 |
C1D10 |
10 |
400 |
20 |
机箱式 |
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|
11 |
E75.Cap1-100 |
0~100 |
1 |
C01D10 |
1.25 |
50 |
2.5 | 小体积式 | |
|
12 |
E75.Cap1-200 |
0~200 |
1 |
C02D10 |
2.5 |
100 |
5 |
小体积式 |
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|
13 |
0~200 |
1 |
C02F13 |
2.5 |
100 |
5 |
小体积式 |
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14 |
E75.Cap1-500 |
0~500 |
1 |
C05D10 |
5 |
200
|
10 |
小体积式 |
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15 |
E75.Cap1-1000 |
0~1000 |
1 |
C1D10 |
10 |
400 |
20 |
小体积式 |
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16 |
E09.Cap1-100 |
0~100 |
1 |
C01D10 |
1.25 |
50 |
2.5 | 板卡式，无供电模块 | |
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17 |
E09.Cap1-200 |
0~200 |
1 |
C02D10 |
2.5 |
100
|
5 |
板卡式，无供电模块 |
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18 |
0~200 |
1 |
C02F13 |
2.5 |
100 |
5 |
板卡式，无供电模块 |
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19 |
E09.Cap1-500 |
0~500 |
1 |
C05D10 |
5 | 200 | 10 |
板卡式，无供电模块 |
点击查看 |
| 20 |
E09.Cap1-1000 |
0~1000 |
1 |
C1D10 |
10 | 400 | 20 |
板卡式，无供电模块 |
点击查看 |
注：
[1]：X代表通道数，范围可选1~6；
[2]：X代表通道数，范围可选7~12；
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |
