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压电宏微复合台是指在手调千分尺的基础上集成压电定位运动平台，手调千分尺可进行13mm行程的宏观调节，压电运动平台可进行25μm行程的纳米级微观调节，且千分尺的调节精度在压电运动平台的调节范围内，从而保证调节的精度及便捷。
产品特点
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宏微复合机构
宏微复合机构是通过宏动调节测微头与压电微动调节机构完成大范围精密定位需求。
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压电微调机构 
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手调测微头 
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宏微复合机构 
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一维大行程位移台 
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二维大行程位移台 
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三维大行程位移台 
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驱动示意图 通过测微头与压电微调机构相结合的方式实现宏微复合机构，宏微复合机构可以与宏动平台配合使用，组成大行程高精度压电平移台。 
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产品应用
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
XZ65P83S |
XZ65P83K |
单位 |
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运动自由度 |
X Z |
X Z |
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行程范围（粗调+精调） |
13+25/轴 |
13+25/轴 |
mm+µm |
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壳体材料 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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手动调节部分-千分尺 |
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粗调行程范围 |
13/轴 |
13/轴 |
mm |
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粗调分辨率 |
10 |
10 |
µm |
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驱动方式 |
螺纹副（分厘卡） |
螺纹副（分厘卡） |
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灵敏度 |
<2 |
<2 |
µm |
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最小读数 |
10 |
10 |
µm/格 |
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螺距 |
0.5 |
0.5 |
mm/rev. |
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压电驱动精调部分-压电驱动 |
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精调行程范围 |
0~120 V |
20/轴 |
20/轴 |
µm±20% |
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0~150 V |
25/轴 |
25/轴 |
µm±20% |
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传感器类型 |
SGS |
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最小步进（分辨率） |
1 |
0.5 |
nm, typ. |
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闭环线性度 |
0.2 |
- |
%F.S. |
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重复定位精度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
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运动方向推力 |
20 |
20 |
N |
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运动方向的刚度 |
2 |
2 |
N/µm±20% |
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承载能力（Z向） |
0.3 |
0.3 |
kg |
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重量 |
1000 |
1000 |
g |
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静电容量 |
1.8/轴 |
1.8/轴 |
µF±20% |
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工作温度范围[1] |
-20~80 |
-20~80 |
°C |
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出线长[2] |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
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传感/电压连接器[2] |
LEMO |
LEMO |
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注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得。标称行程是在0~120V的驱动电压下的位移行程，最大驱动电压可在-20V~150V；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。除特别说明外，以上参数均于室温约25℃下测得。
[1] 可定制低温及高真空版本。
[2] 线长及连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。
