XD730.100系列大行程压电物镜定位器是专为大负载、百微米行程设计的一款Z向运动的物镜驱动平台,它的行程可达100μm,承载能力达0.5kg,非常适于物镜纳米级运动控制。
产品特点
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产品应用
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技术参数 | |||
型号 |
XD730.100S |
XD730.100K |
单位 |
运动方向 |
Z |
Z |
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驱动控制 |
1路驱动,1路传感 |
1路驱动 |
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标称行程范围(0~120V) |
80 |
80 |
μm±10% |
Max.行程范围(0~150V) |
100 |
100 |
μm±10% |
传感器类型 |
SGS |
- |
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分辨率 |
<10 |
1 |
nm |
闭环线性度 |
0.06 |
- |
%F.S. |
闭环重复定位精度
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0.01 |
- |
%F.S. |
空载谐振频率 |
450 |
450 |
Hz±20% |
闭/开环阶跃响应时间 |
30 |
2 |
Hz±20% |
静电容量 |
6.8 |
6.8 |
μF±10% |
承载能力 |
0.5 |
0.5 |
kg |
台体材料 |
铝、钢 |
铝、钢 |
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重量 |
190 |
190 |
g±5% |
注:以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得。最大驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。
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应用案例
笼式结构 ![]() |
超分辨率显微成像 ![]() |
显微镜 ![]() |
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