- 产品介绍
- 意见反馈
P76F系列Z向大负载压电物镜定位器的位移可达90μm，负载可达900g，适合晶圆激光隐形切割等大负载应用。它与物镜镜头连接的适配器具有多种螺纹牙选，也可根据客户需求定制。它的固定可通过两种不同孔径通孔进行固定。采用柔性铰链设计机构，无摩擦，直线性好，闭环型号定位精度高。
产品特点
|
|
|
|
|
|
电压-位移曲线 
|
推荐控制器 
|
产品应用
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| 技术参数 | ||||
|
型号 |
尾缀S-闭环 |
P76F.Z80S60-C |
P76F.Z80K60-C |
单位 |
|
尾缀K-开环 |
||||
|
运动自由度 |
Z |
Z |
|
|
|
驱动控制 |
1路驱动，1路传感 | 1路驱动 |
|
|
|
标称行程范围（0~120V） |
72 |
72 |
µm±10% |
|
|
Max.行程范围（0~150V） |
90 |
90 |
µm±10% |
|
|
传感器类型 |
SGS |
- |
|
|
|
闭/开环分辨率 |
3 |
1 |
nm，typ. |
|
|
闭环线性度 |
0.2 |
- |
%F.S. |
|
|
闭环重复定位精度 |
0.03 |
- |
%F.S. |
|
|
俯仰/偏航/滚动 |
＜20 |
＜20 |
μrad |
|
|
空载谐振频率 |
750 |
750 |
Hz±20% |
|
|
带载谐振频率@900g |
280 |
280 |
Hz±20% |
|
|
阶跃时间 |
10@900g |
3 |
ms±20% |
|
|
承载能力 |
0.9 |
0.9 |
Kg |
|
|
静电容量 |
14.4 |
14.4 |
μF±20% |
|
|
材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
|
|
|
重量 |
1740 |
1740 |
g±5% |
|
应用案例
|
笼式结构 
|
超分辨率显微成像 
|
显微镜 
|
|
提升显微成像精度 
|
全自动细胞成像系统 
|
