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P75系列大行程压电物镜定位器可在Z轴方向实现250μm位移，承载上限可达0.2kg。采用无回差柔性铰链并联导向机构设计，无摩擦，直线性好，闭环型号定位精度高，物镜补偿量较小，具有超高聚焦稳定性。分离式螺纹适配器设计，可适配多种型号的显微镜。
产品特点
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频率负载曲线 
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推荐控制器 
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产品应用
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
尾缀S-闭环 |
P75.Z200S |
P75.Z200K |
单位 |
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尾缀K-开环 |
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运动自由度 |
Z |
Z |
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驱动控制 |
1路驱动，1路传感 | 1路驱动 |
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标称行程范围（0~120V） |
200 |
200 |
µm±10% |
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Max.行程范围（0~150V） |
250 |
250 |
µm±10% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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闭/开环分辨率 |
6 |
2.5 |
nm |
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闭环线性度 |
0.125 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.05 |
- |
%F.S. |
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推/拉力 |
25/10 |
25/10 |
μrad |
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运动方向刚度 |
0.1 |
0.1 |
N/μm±20% |
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空载谐振频率 |
389 |
389 |
Hz±20% |
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闭环工作频率（-3dB） |
20 | - |
Hz±20% |
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空载阶跃时间 |
25 |
10 |
ms±20% |
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承载能力 |
0.2 |
0.2 |
kg |
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静电容量 |
6.5 |
6.5 |
μF±20% |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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重量 |
225 |
225 |
g±5% |
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