- 产品介绍
- 应用
- 意见反馈
P12A 系列压电扫描台包含 X、Z、XY、XZ、XYZ 五种规格型号 , 外观类似。
产品特点
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
台体采用放大机构设计，运动行程范围大 
|
带载阶跃时间 
|
闭环传感定位精度高 P12A系列压电扫描台配置高分辨率传感器，对位置实时检测并反馈到压电控制器，控制器通过 PID 算法调整电压修正位移，从而实现高精度定位。 
|
产品应用
|
|
|
|
|
|
|
|
P12A全系列产品
P12A系列压电扫描台包含X、Z、XY、XZ、XYZ五种规格型号。
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
| 技术参数 | |||||||||
|
型号 |
尾缀S-闭环 |
P12A.X200S |
P12A.Z200S |
P12A.Z400S |
P12A.Z600S |
P12A.XY200S P12A.XY200K |
P12A.XZ200S |
P12A.XYZ200S |
单位 |
|
运动自由度 |
X |
Z |
Z |
Z |
X、Y |
X、Z |
X、Y、Z |
|
|
|
驱动控制 |
1路驱动，1路传感 |
1路驱动，1路传感 |
1路驱动，1路传感 |
1路驱动，1路传感 |
2路驱动，2路传感 |
2路驱动，2路传感 |
3路驱动，3路传感 |
|
|
|
标称行程范围（0~120V） |
160 |
160 |
320 |
480 |
160/轴 |
160/轴 |
160/轴 |
μm±20% |
|
|
Max.行程范围（0~150V） |
200 |
200 |
400 |
600 |
200/轴 |
200/轴 |
200/轴 |
μm±20% |
|
|
传感器类型 |
SGS/- |
SGS/- |
SGS/- |
SGS/- |
SGS/- |
SGS/- |
SGS/- |
|
|
|
分辨率 |
5.5/2 |
5.5/2 |
11/3.5 |
16/5 |
5.5/2 |
5.5/2 |
5.5/2 |
nm |
|
|
闭环线性度 |
0.3/- |
0.3/- |
0.4/- |
0.5/- |
0.4/- |
0.4/- |
0.5/- |
%F.S. |
|
|
闭环重复定位精度 |
0.2/- |
0.2/- |
0.3/- |
0.4/- |
0.3/- |
0.3/- |
0.4/- |
%F.S. |
|
|
空载谐振频率 |
160 |
160 |
130 |
80 |
X160/Y140 |
X160/Z140 |
X150/Y130/Z90 |
Hz±20% |
|
|
承载能力 |
水平安装 |
0.5 |
0.5 |
0.4 |
0.3 |
0.4 |
0.4 |
0.3 |
kg |
| 立式安装 | 0.03 | 0.03 | 0.02 | 0.01 | 0.02 | 0.01 | 0.01 | ||
| 倒置安装 | 0.5 | 0.03 | 0.02 | 0.01 | 0.4 | 0.02 | 0.01 | ||
|
静电容量 |
7.2 |
7.2 |
14.4 |
21.6 |
7.2/轴 |
7.2/轴 |
7.2/轴 |
μF±20% |
|
|
材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
钢、铝 |
钢、铝 |
钢、铝 |
钢、铝 |
钢、铝 |
|
|
|
Auto CAD PDF |
|
|
|
|
|
 |
|
|
|
|
Step |
/ |
/ |
|
/ |
|
|
/ |
|
|
|
参数表/Specs Sheet |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
注：以上参数是采用 E00/E01 系列压电控制器测得。最大驱动电压可在 -20V~150V；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0~120V。
| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
 |
 |
 |
| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
||
应用案例
|
笼式结构 
|
低温真空 
|
纳米压印 
|
|
超分辨率显微成像 
|
红外超分辨率成像 
|
激光直写 
|
|
提高CCD分辨率 
|
干涉测量 
|
显微镜探针校准 
|
|
纳米光刻 
|
