产品特点
行程范围可达:100µm |
通孔尺寸:Φ75mm |
负载能力可达: 3kg |
外形尺寸:Φ145×33mm |
真空版本可选 |
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技术参数 | |||
型号 |
P77A.100S/K75 |
单位 |
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运动自由度 |
Z |
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标称行程范围(0~120V) |
80 |
μm±10% |
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行程范围(0~150V) |
100 |
μm±10% |
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传感器类型 |
SGS/- |
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通孔尺寸 |
Φ75 |
mm |
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长或外径 |
Φ145 |
mm |
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高 |
33 |
mm |
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分辨率 |
3/1 |
nm |
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俯仰/偏航/滚动 |
- |
μrad |
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推/拉力 |
- |
N |
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空载谐振频率 |
350 |
Hz±20% |
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空载阶跃时间 |
- |
ms±20% |
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闭环空载工作频率 |
10%行程 |
- |
Hz±20% |
100%行程 |
- |
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承载能力 |
倒置3 |
kg |
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静电容量 |
21.6 |
μF±20% |
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材质 |
钢、铝 |
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重量 |
1260 |
g±5% |
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工作温度范围 |
-20~80 |
℃ |
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控制 |
2路控制 |
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连接器 |
LEMO |
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出线长 |
1.5 |
m±10mm |
注:以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得,驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。
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应用案例
笼式结构 |
低温真空 |
纳米压印 |
超分辨率显微成像 |
红外超分辨率成像 |
激光直写 |
提高CCD分辨率 |
干涉测量 |
显微镜探针校准 |
纳米光刻 |