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P70.Z200系列压电扫描台可实现一维Z向运动，150V驱动电压下行程可达到170μm。其内置传感器通过全桥方式连接，无漂移，可以实现在纳米范围内精确定位。承载可达500g，适用于大负载应用。
产品特点
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产品应用
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 |
P70.Z200S |
P70.Z200K |
单位 |
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运动自由度 |
Z |
Z |
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驱动控制 |
1路驱动，1路传感 |
1路驱动 |
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标称行程范围（0~120V） |
136 |
136 |
μm±10% |
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行程范围（0~150V） |
170 |
170 |
μm±10% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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闭/开环分辨率 |
6 |
2 |
nm |
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闭环线性度 |
0.05 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.02 |
- |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
500 |
500 |
Hz±20% |
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带载谐振频率@200g |
250 |
250 |
Hz±20% |
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闭/开环空载阶跃时间 |
20 |
2 |
ms±20% |
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承载能力 |
500 |
500 |
g |
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静电容量 |
7.2 |
7.2 |
μF±20% |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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重量 |
240（包含6芯连接线） |
240（包含6芯连接线） |
g±5% |
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应用案例
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笼式结构 
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低温真空 
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纳米压印 
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超分辨率显微成像 
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红外超分辨率成像 
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激光直写 
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提高CCD分辨率 
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干涉测量 
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显微镜探针校准 
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纳米光刻 
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