P18A.X200系列压电扫描台采用机构放大设计原理,柔性铰链连接支撑传动,内部采用高可靠性压电陶瓷驱动,在X轴可实现达200μm的位移,可配置闭环传感实现高精度扫描与定位。压电平台具有25mm×25mm的通孔,适用于光学扫描。平台可以通过叠加转接的方式实现二维、三维运动。
产品特点
一维 X 向运动 |
行程可达 200µm |
开/闭环可选 |
通孔尺寸 25×25mm |
真空版本可选 |
可组多维使用 |
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带载阶跃时间 |
产品应用
SPM 扫描显微镜 |
掩模/晶圆定位 |
表面结构分析 |
生物技术 |
干涉 |
计量 |
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技术参数 | ||||
型号 |
S-闭环 |
P18A.X200S |
P18A.X200K
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单位 |
运动自由度 |
X |
X |
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驱动控制 |
1路驱动,1路传感 |
1路驱动 |
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标称行程范围(0 ~120 V) |
160 |
160 |
µm±10% |
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Max.行程范围(0~150 V) |
200 |
200 |
µm±10% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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通孔尺寸 |
25×25 |
25×25 |
mm |
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闭/开环分辨率 |
8 |
3 |
nm |
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闭环线性度 |
0.08 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.05 |
- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
<10 |
μrad |
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空载谐振频率 |
530 |
530 |
Hz±20% |
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带载谐振频率@1000g |
140 | 140 |
Hz±20% |
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闭/开环空载阶跃时间 |
50@1000g |
15 |
ms±20% |
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静电容量 |
11 | 11 |
μF±20% |
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工作温度范围 |
-20~80 |
-20~80 |
℃ |
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承载能力 |
水平安装 |
5 |
5 |
Kg |
立式安装 | 3 | 3 | ||
倒置安装 | 5 | 5 | ||
材料 |
铝合金 |
铝合金 |
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重量 |
560(含线) |
560(含线) |
g±5% |
安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
释义 |
将PZT平台水平放置安装,运动面位于PZT
平台的上方,运动面与水平面平行。 PS:参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装,运动面与重力方向平行 PS:存在多种立式安装方式,技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置,但运动面位于定位台的下方 |
示意图 |
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备注 |
当安装方式选择为立式安装时,需注意出线口 |
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