P18A.X200系列压电扫描台(放大机构式)当前位置:产品首页 >> 一维中空式压电扫描台>>P18A.X200系列压电扫描台(放大机构式)
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    P18A.X200系列压电扫描台采用机构放大设计原理,柔性铰链连接支撑传动,内部采用高可靠性压电陶瓷驱动,在X轴可实现达200μm的位移,可配置闭环传感实现高精度扫描与定位。压电平台具有25mm×25mm的通孔,适用于光学扫描。平台可以通过叠加转接的方式实现二维、三维运动。



产品特点


 一维 X 向运动

 行程可达 200µm 

 /闭环可选

 通孔尺寸 25×25mm

 真空版本可选

 可组多维使用

 


带载阶跃时间



产品应用


 SPM 扫描显微镜

 掩模/晶圆定位

 表面结构分析

 生物技术

 干涉

 计量




    技术参数

型号

S-闭环
K-开环

P18A.X200S


P18A.X200K


单位

运动自由度

X

X

 

驱动控制

1路驱动,1路传感

1路驱动


标称行程范围(0 ~120 V)

160

160

µm±10%

Max.行程范围(0~150 V)

200

200

µm±10%

传感器类型

SGS

-

 

通孔尺寸

25×25

25×25

mm

闭/开环分辨率

8

3

nm

闭环线性度

0.08

-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.05

-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

<10

<10

μrad

空载谐振频率

530

530

Hz±20%

带载谐振频率@1000g

140 140 Hz±20%

闭/开环空载阶跃时间

50@1000g

15

ms±20%

静电容量

11 11

μF±20%

工作温度范围

-20~80

-20~80

承载能力

水平安装

5

5

Kg

立式安装 3 3
倒置安装 5 5

材料

铝合金

铝合金

 

重量

560(含线)

560(含线)

g±5%



安装方向 水平安装
立式安装
倒置安装
释义
    将PZT平台放置安装,运动面位于PZT

平台的上方,运动面与水平面平行

PS:参数表中承载能力默认方向

    将PZT平台立式放置安装,运动面与重力方向平行

PS:存在多种立式安装方式,技术参数对应最低承载

    将PZT平台水平放置,但运动面位于定位台的下方

示意图


备注

当安装方式选择为立式安装时,需注意出线口

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
    尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF
Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual



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