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P12.X为一维X轴小体积压电纳米定位台，结构紧凑，外形尺寸60×60×24mm或70x70x24mm（对应不同中心孔尺寸），行程可达200μm。压电驱动、无摩擦、柔性铰链导向系统使得这一系列产品实现纳米级的分辨率，毫秒级的响应时间，台体中心中孔尺寸Φ25mm或φ35，适合于显微及扫描中的样品定位。
产品特点
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产品实物图 
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产品运动示意图 
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台体采用放大机构设计，运动行程范围大 
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位移与电压曲线 
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谐振频率与负载曲线 
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线性度曲线 
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产品应用
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相关产品
P12系列压电扫描台包括X/XY/XZ/XYZ四种运动结构形式，可以满足1~3维大行程扫描或定位的应用需求。同时，P12具有两种通孔直径可供选择，分别为25mm、35mm。
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
尾缀S-闭环 |
P12.X200S
P12.X200K |
P12.X200S-D P12.X200K-D |
单位 |
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尾缀K-开环 |
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运动自由度 |
X |
X |
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| 驱动控制 |
1路驱动，1路传感 |
1路驱动，1路传感 |
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标称行程范围（0~120V） |
160 |
160 |
µm±10% |
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Max.行程范围（0~150V） |
200 |
200 |
µm±10% |
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传感器类型 |
SGS/- |
SGS/- |
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通孔尺寸 |
Ø25 |
Ø35 |
mm |
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分辨率 |
5.5/2 |
5.5/2 |
nm |
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闭环线性度 |
0.1/- |
0.1/- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.05/- |
0.05/- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<15 |
<15 |
µrad |
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运动方向推/拉力 |
30/10 |
30/10 |
N |
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运动方向刚度 |
0.2 |
0.2 |
N/µm±20% |
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空载谐振频率 |
160 |
160 |
Hz±20% |
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闭/开环空载阶跃时间 |
15/3 |
15/3 |
ms±20% |
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承载能力 |
水平安装 |
0.5 |
0.5 |
Kg |
| 立式安装 | 0.04 | 0.04 | ||
| 倒置安装 | 0.04 | 0.04 | ||
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静电容量 |
3.6 |
3.6 |
μF±20% |
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工作温度范围 |
-20~80 |
-20~80 |
°C |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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重量 |
200 |
200 |
g±5% |
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注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。
注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，Max.动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
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| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
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应用案例
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笼式结构 
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低温真空 
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纳米压印 
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超分辨率显微成像 
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红外超分辨率成像 
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激光直写 
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提高CCD分辨率 
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干涉测量 
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显微镜探针校准 
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纳米光刻 
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