- 产品介绍
- 应用
- 意见反馈
压电扫描台P78.Z100是专为生物医疗应用而设计的用于样品显微扫描的压电扫描台，它的外形结构易于集成于显微仪器设备中。压电扫描台P78.Z100-D1的Z向运动范围可达100µm。
压电扫描台P78.Z100对于纳米范围的对准、纳米聚焦、测量等应用是非常理想的。它的高度仅25mm，中心具有120×70mm的通孔，可提供亚纳米级分辨率的高精度运动。
压电扫描台P78.Z100可选配桥式配置的闭环传感器，可消除温度漂移，保证了纳米范围的定位稳定性。
压电扫描台P78.Z100的结构经过FEA建模仿真分析设计，无间隙、无摩擦，具有极高的运动精度。同时，通过FEA优化了直线度与平面度，为运动方向及垂直运动方向上提供了较高的刚度。因其并联运动学的设计，将扫描台的质量尽可能缩小，使结构更紧凑、响应速度更快。
压电扫描台P78.Z100匹配芯明天E53.D压电控制器使用，整个压电显微聚焦的体积非常小巧。可选择闭环控制及上位机通信功能。
产品特点
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
产品实物图 
|
阶跃时间图 
|
位移与电压曲线 
|
|
谐振频率与负载曲线 
|
线性度曲线 
|
产品应用
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| 技术参数 | ||||
|
型号 |
S-闭环 |
P78.Z100S |
P78.Z100K |
单位 |
|
运动自由度 |
Z |
Z |
|
|
|
驱动控制 |
1路驱动，1路传感 |
1路驱动 |
|
|
|
行程范围（0 ~+120 V） |
80 |
80 |
µm±10% |
|
|
行程范围（-20~+150 V） |
100 |
100 |
µm±10% |
|
|
传感器类型 |
SGS |
- |
|
|
|
通孔尺寸 |
120×70 |
120×70 |
mm |
|
|
分辨率 |
3 |
1 |
nm |
|
|
闭环线性度 |
0.3 |
- |
%F.S. |
|
|
闭环重复定位精度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
|
|
俯仰/偏航/滚动 |
<25 |
<25 |
μrad |
|
|
机械性能 |
||||
|
运动方向推/拉力 |
120/15 |
120/15 |
N |
|
|
运动方向刚度 |
1.5 |
1.5 |
N/um±20% |
|
|
空载谐振频率 |
400 |
400 |
Hz±20% |
|
|
闭/开环空载阶跃时间 |
30 |
5 |
ms |
|
|
承载能力 |
1 |
1 |
Kg, max |
|
|
驱动性能 |
||||
|
静电容量 |
5.4 |
5.4 |
μF/轴±20% |
|
|
其他 |
||||
|
工作温度范围 |
-20~80 |
-20~80 |
℃ |
|
|
材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
|
|
|
外形尺寸（长宽高） |
154×136×25 |
154×136×25 |
mm |
|
|
重量 |
560 |
560 |
g±5% |
|
|
出线长 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
|
|
传感/电压连接器 |
LEMO |
LEMO |
|
|
应用案例
|
笼式结构 
|
低温真空 
|
纳米压印 
|
|
超分辨率显微成像 
|
红外超分辨率成像 
|
激光直写 
|
|
提高CCD分辨率 
|
干涉测量 
|
显微镜探针校准 
|
|
纳米光刻 
|
