P77.S210 压电式移相器的孔径为210mm,非常适于大口径光学平面检测。
产品特点
行程可达17.5μm |
承载可达10kg |
尺寸265×265×35mm |
通孔直径Ø210mm |
真空版本可选 |
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技术参数 | ||
型号 |
P77.S210 |
单位 |
运动自由度 |
Z |
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行程范围(0~120V) |
14 |
µm±10% |
行程范围(0~150V) |
17.5 |
µm±10% |
分辨率 |
0.5/0.2 |
nm,typ. |
俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
µrad |
空载谐振频率 |
0.1 |
kHz±20% |
空载阶跃时间 |
2.5 |
ms±20% |
承载能力 |
正立10 /卧式5 /倒置5 |
Kg |
静电容量 |
5.4 |
μF±20% |
工作温度范围 |
-20~80 |
°C |
材质 |
钢、铝 |
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外形尺寸(长×宽×高) |
265×265×35 |
mm |
通孔尺寸 |
Ø210 |
mm |
重量 |
2890 |
g±5% |
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
传感/电压连接器 |
LEMO |
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使用方式 |
正立/倒置/卧式 |
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控制 |
1或3路控制 |
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应用案例
笼式结构 |
低温真空 |
纳米压印 |
超分辨率显微成像 |
红外超分辨率成像 |
激光直写 |
提高CCD分辨率 |
干涉测量 |
显微镜探针校准 |
纳米光刻 |