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XP-780系列压电扫描台采用机构放大设计原理，柔性铰链连接支撑传动，内部采用高可靠性压电陶瓷驱动，实现X轴200μm的位移，可以配置闭环传感实现高精度扫描与定位。压电平台具有25mm×25mm的通孔，适用于光学扫描。平台可以通过叠加转接的方式实现二维、三维运动。
产品特点
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外观形状 
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产品运动示意图 
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台体采用放大机构设计，运动行程范围大 
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大行程、高精度、大负载
XP-780系列大行程压电扫描台采用机构放大设计原理， 可以实现200μm的位移行程，无摩擦无空回的柔性导向机构使其具有高的分辨率，选择配置闭环传感器可实现纳米级的定位精度，台体通孔使其适用于显微扫描等应用。 |
出厂检验测试 
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1-3维扫描台 XP-780系列压电扫描台包括X、XY、XZ、XYZ多种规格型号，可以自由叠加组合。 
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位移与电压曲线 
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谐振频率与负载曲线 
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线性度曲线 
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产品应用
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
尾缀S-闭环 |
XP-780.XS |
XP-780.XK |
单位 |
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尾缀K-开环 |
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运动自由度 |
X |
X |
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驱动控制 |
1路驱动，1路传感 |
1路驱动 |
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标称行程范围（0~120V） |
160 |
160 |
µm±10% |
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行程范围（0~150V） |
200 |
200 |
µm±10% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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通孔尺寸 |
25×25 |
25×25 |
mm |
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分辨率 |
5.5 |
2 |
nm，typ. |
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闭环线性度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.05 |
- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<50 |
<50 |
µrad |
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机械性能 |
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运动方向推/拉力 |
80/40 |
80/40 |
N |
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运动方向刚度 |
0.5 |
0.5 |
N/µm±20% |
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空载谐振频率 |
0.2 |
0.2 |
kHz±20% |
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空载阶跃时间 |
20 |
5 |
ms±20% |
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承载能力 |
5 |
5 |
Kg |
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驱动性能 |
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静电容量 |
11 |
11 |
μF±20% |
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其他 |
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工作温度范围** |
-20~80 |
-20~80 |
°C |
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材质 |
铝 |
铝 |
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外形尺寸（长×宽×高） |
100×100×20 |
100×100×20 |
mm |
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重量 |
240 |
240 |
g±5% |
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出线长 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
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传感/电压连接器*** |
LEMO |
LEMO |
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** 可定制低温版本及高真空版本。
***连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。
应用案例
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笼式结构 
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低温真空 
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纳米压印 
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超分辨率显微成像 
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红外超分辨率成像 
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激光直写 
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提高CCD分辨率 
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干涉测量 
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显微镜探针校准 
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纳米光刻 
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |
