P77.S242 P77.K242 压电式移相器 Φ242mm通孔 行程6μm, 当前位置:产品首页 >> 一维中空式压电扫描台>>P77.S242 P77.K242 压电式移相器 Φ242mm通孔 行程6μm,
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     移相器是移相干涉仪中非常重要的部件,压电式移相器由于分辨率高、响应速度快、易于控制、性能稳定,因此被广泛使用。 


     哈尔滨芯明天科技有限公司通过采用放大特性的柔性铰链式结构,设计研制压电陶瓷(PZT)电压驱动电路来驱动相移执行机构以达到移相的目的。再结合光学器件、下位机编程、以及在软件开发平台上编写数据处理程序,研制了一套移相精确控制测量装置。 


    为了有效解决PZT非线性、蠕变特性、迟滞特性对移相精度的影响,该装置采用了电压-位移形成的闭环反馈控制,实现自适应的微米级驱动定位控制,大大改善了非线性,降低了外界影响、干扰,对相移的测量精度起到了明显改善。 


    压电式移相器通过多组压电陶瓷叠堆驱动,可用于直径达260mm孔径镜片,位移行程可达17.5μm或以上。实验已证明,该压电式移相器效果非常好,且控制精度可达亚纳米级,它可大大提高测量精确度,在相位测量技术中具有广泛的实用价值,且已广泛用于各种现代干涉仪器中。


  P77.K242 系列压电移相器是专为光学检测移相应用而设计,行程范围可达17.5µm,非常适于大口径的光学检测设备。


产品特点


 行程范围:0~17.5µm 

 孔尺寸:Φ242mm

 负载能力: 15kg

 外形尺寸:280×280×40mm 

 真空版本可选





位移与电压曲线

    技术参数

型号

P77.S242
P77.K242

单位

运动自由度

Z

 

标称行程范围(0~120V)

14

μm±10%

行程范围(0~150V)

17.5

μm±10%

传感器类型

-

 

通孔尺寸

Φ242

mm

分辨率

0.5/0.2

nm

俯仰/偏航/滚动

<15

μrad

推/拉力

100/20

N

空载谐振频率

3090

Hz±20%

空载阶跃时间

20

ms±20%

闭环空载工作频率

10%行程

-

Hz±20%

100%行程

-

承载能力

正立15

卧式1

倒置10

kg

静电容量

5.4

μF±20%

材质

钢、铝

 

重量

3800

g±5%

工作温度范围

-20~80

控制

1路控制

 

连接器

LEMO

 

出线长

1.5

m±10mm

    注:以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得,驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看

    尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF
Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual


应用案例


笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻


笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

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显微镜探针校准

纳米光刻


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