移相器是移相干涉仪中非常重要的部件，压电式移相器由于分辨率高、响应速度快、易于控制、性能稳定，因此被广泛使用。

哈尔滨芯明天科技有限公司通过采用放大特性的柔性铰链式结构，设计研制压电陶瓷（PZT）电压驱动电路来驱动相移执行机构以达到移相的目的。再结合光学器件、下位机编程、以及在软件开发平台上编写数据处理程序，研制了一套移相精确控制测量装置。

为了有效解决PZT非线性、蠕变特性、迟滞特性对移相精度的影响，该装置采用了电压-位移形成的闭环反馈控制，实现自适应的微米级驱动定位控制，大大改善了非线性，降低了外界影响、干扰，对相移的测量精度起到了明显改善。

压电式移相器通过多组压电陶瓷叠堆驱动，可用于直径达260mm孔径镜片，位移行程可达17.5μm或以上。实验已证明，该压电式移相器效果非常好，且控制精度可达亚纳米级，它可大大提高测量精确度，在相位测量技术中具有广泛的实用价值，且已广泛用于各种现代干涉仪器中。

P77.K242 系列压电移相器是专为光学检测移相应用而设计，行程范围可达17.5µm，非常适于大口径的光学检测设备。

产品特点

行程范围：0~17.5µm	孔尺寸：Φ242mm	负载能力： 15kg	外形尺寸：280×280×40mm
真空版本可选

位移与电压曲线

注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。

安装方向	水平安装	立式安装	倒置安装
释义	将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT 平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向	将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载	将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方
示意图
备注	当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口