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P16.XY80为二维XY轴压电扫描台，运动范围为 ±40μm/轴，产品结构紧凑，中心大透光孔，适合于显微及扫描中的样品定位。压电驱动、无摩擦、柔性铰链导向系统使得这一系列产品可实现纳米级的分辨率，毫秒级的响应时间。
产品特点
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台体采用机构放大式驱动设计，行程范围大 
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平稳和准确的扫描圆形驱动 精准圆形驱动控制，可以通过精切定位XY平台的每一轴，采用正弦波90°相差输入，也可以通过PID修正位移进行调整，根据频率幅值以及负载使得驱动控制平稳准确。 
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应用实例-镜架二维XY调节 P16.XY二维压电扫描台以其大承载、高频率等特点，应用于光路调整实验中，带载大镜架做XY轴精密运动。 
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产品应用
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P16全系列产品
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
尾缀S-闭环 |
P16.XY80S |
P16.XY80K |
单位 |
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尾缀K-开环 |
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运动自由度 |
X、Y |
X、Y |
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运动和定位 |
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驱动控制 |
3 路驱动，2路传感 |
3 路驱动 |
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标称行程范围（0~100V） |
±33/轴 |
±33/轴 |
µm/轴±10% |
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行程范围（0~120V） |
±40/轴 |
±40/轴 |
µm/轴±10% |
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传感器类型 |
SGS |
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通孔尺寸 |
Ø43 |
Ø43 |
mm |
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分辨率 |
2.5 |
1 |
nm，typ. |
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闭环线性度 |
X0.3Y1 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
X0.1Y0.5 |
- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
＜ 10 |
＜ 10 |
µrad |
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机械性能 |
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运动方向推/拉力 |
50/15 |
50/15 |
N |
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运动方向刚度 |
1 |
1 |
N/µm±20% |
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空载谐振频率 |
700 |
700 |
Hz±20% |
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空载阶跃时间 |
5 |
1.5 |
ms±20% |
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承载能力 |
0.5 |
0.5 |
Kg |
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驱动性能 |
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静电容量 |
3.6 |
3.6 |
μF/轴±20% |
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其他 |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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重量 |
470 |
470 |
g±5% |
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** 可定制低温版本及高真空版本。
***连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。
注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，Max.驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
应用案例
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笼式结构 
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低温真空 
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纳米压印 
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超分辨率显微成像 
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红外超分辨率成像 
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激光直写 
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提高CCD分辨率 
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干涉测量 
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显微镜探针校准 
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纳米光刻 
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