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P16.XY15系列压电扫描台为 XY轴运动扫描台，机构放大设计原理，中心通孔孔径为37mm，可以实现XY轴±8μm的位移行程。它是专为成像应用而设计。产品体积小巧、结构紧凑，易于集成与安装。
产品特点
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板卡式配套控制器 
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产品应用
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
尾缀S-闭环 |
P16.XY15S |
P16.XY15K |
单位 |
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尾缀K-开环 |
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运动自由度 |
X、Y |
X、Y |
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运动和定位 |
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驱动控制 |
3 路驱动，2路传感 |
3 路驱动 |
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标称行程范围 |
±6.6/轴 |
±6.6/轴 |
µm±10% |
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行程范围 |
±8/轴 |
±8/轴 |
µm±10% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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通孔尺寸 |
Ø37 |
Ø37 |
mm |
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分辨率 |
0.5 |
0.2 |
nm，typ. |
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闭环线性度 |
0.3 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
<10 |
µrad |
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机械性能 |
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运动方向推/拉力 |
44/44 |
44/44 |
N |
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运动方向刚度 |
X2.2/Y2.2 |
X2.2/Y2.2 |
N/µm±20% |
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空载谐振频率 |
1500 |
1500 |
Hz±20% |
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空载阶跃时间 |
1.5 |
0.7 |
ms±20% |
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承载能力 |
1 |
1 |
Kg |
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驱动性能 |
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静电容量 |
1.6 |
1.6 |
μF/轴±20% |
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其他 |
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工作温度范围** |
-20~80 |
-20~80 |
°C |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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重量 |
235 |
235 |
g±5% |
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** 可定制低温版本及高真空版本。
***连接器可定制。
注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，Max.驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
应用案例
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笼式结构 
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低温真空 
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纳米压印 
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超分辨率显微成像 
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红外超分辨率成像 
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激光直写 
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提高CCD分辨率 
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干涉测量 
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显微镜探针校准 
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纳米光刻 
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