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P12.XY二维XY轴压电扫描台，结构紧凑，外形尺寸60×60×24mm或70x70x24mm（对应不同中心孔尺寸），行程可达110μm/轴。压电驱动、无摩擦、柔性铰链导向系统使得这一系列产品实现纳米级的分辨率，毫秒级的响应时间，台体中心中孔尺寸达Φ25mm或Φ35mm，适合于显微及扫描中的样品定位。
产品特点
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产品实物图 
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产品运动示意图 
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台体采用放大机构设计，运动行程范围大 
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小体积、大位移、中心通孔
P12系列压电扫描台采用机构放大设计原理，较小的体积外形，尺寸仅为60×60×24mm，P12.XYZ可以实现100μm/轴的扫描范围，中心通孔可选25mm或35mm，35mm通孔对应台体外形尺寸为70×70×24mm。 |
平稳和准确的扫描圆形驱动 精准圆形驱动控制，可以通过精切定位XY平台的每一轴，采用正弦波90°相差输入，也可以通过PID修正位移进行调整，根据频率幅值以及负载使得驱动控制平稳准确。 
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位移与电压曲线 
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谐振频率与负载曲线 
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线性度曲线 
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产品应用
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相关产品
P12系列压电扫描台包括X/XY/XZ/XYZ四种运动结构形式，可以满足1~3维大行程扫描或定位的应用需求。同时，P12具有两种通孔直径可供选择，分别为25mm、35mm。
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
尾缀S-闭环 |
P12.XY100S |
P12.XY100K |
单位 |
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尾缀K-开环 |
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运动自由度 |
X,Y |
X,Y |
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驱动控制 |
2路驱动，2路传感 | 2路驱动，2路传感 |
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标称行程范围（0~120V） |
80 |
80 |
µm/轴±10% |
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行程范围（0~150V） |
100 |
100 |
µm/轴±10% |
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传感器类型 |
SGS |
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通孔尺寸 |
Ø25（Ø35可选） |
Ø25（Ø35可选） |
mm |
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分辨率 |
3 |
1 |
nm，typ. |
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闭环线性度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.05 |
- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
<10 |
µrad |
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机械性能 |
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运动方向推/拉力 |
25/8 |
25/8 |
N |
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运动方向刚度 |
X0.25/Y0.3 |
X0.25/Y0.3 |
N/µm±20% |
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空载谐振频率 |
X0.18/Y0.23 |
X0.18/Y0.23 |
kHz±20% |
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空载阶跃时间 |
15 |
0.8 |
ms±20% |
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闭环工作频率（-3dB） |
50（空载） |
50（空载） |
Hz±20% |
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承载能力 |
0.7 |
0.7 |
Kg |
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静电容量 |
1.8 |
1.8 |
μF/轴±20% |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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重量 |
200 |
200 |
g±5% |
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注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。
注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，Max.动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
应用案例
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笼式结构 
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低温真空 
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纳米压印 
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超分辨率显微成像 
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红外超分辨率成像 
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激光直写 
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提高CCD分辨率 
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干涉测量 
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显微镜探针校准 
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纳米光刻 
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