P16.XY100二维XY向压电扫描台±40μm 中孔ф20mm当前位置:产品首页 >> 二维中空式压电扫描台>>P16.XY100二维XY向压电扫描台±40μm 中孔ф20mm
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P16 系列压电扫描台为 XY 轴平移扫描台,机构放大设计原理,中心具有通孔,该系列扫描台行程可达 80μm,开环、闭环可选。方形移动台面,便于与外部机械结构安装连接。


P16.XY100为二维XY轴压电扫描台,运动范围为±40μm/轴,产品结构紧凑,中心大透光孔,适合于显微及扫描中的样品定位。压电驱动、无摩擦、柔性铰链导向系统使得这一系列产品可实现纳米级的分辨率,毫秒级的响应时间。


产品特点


 二维XY向运动

 行程±40μm/轴

 承载1.5kg

 台体中心圆形通孔,孔径为Φ20mm

 闭环重复定位精度高

 开/闭环可选

 真空版本可选 

 


外观形状

产品运动示意图

台体采用机构放大式驱动设计,行程范围大

刚度大、谐振频率高、负载能力大

P16 系列压电扫描台,采用机构放大设计原理,内置高性能压电陶瓷,扫描台分别可实现 50μm、80μm 的运动行程,一体式结构设计 XY 轴运动无耦合,优异的结构可承载 1.5kg 的负载,空载谐振频率达 700Hz。
      P16.XY100 版本为中心对称运动方式,需配套带有一通道恒压的三通道压电控制器。

平稳和准确的扫描圆形驱动

精准圆形驱动控制,可以通过精切定位XY平台的每一轴,采用正弦波90°相差输入,也可以通过PID修正位移进行调整,根据频率幅值以及负载使得驱动控制平稳准确。

应用实例-镜架二维XY调节

P16.XY二维压电扫描台以其大承载、高频率等特点,应用于光路调整实验中,带载大镜架做XY轴精密运动。

位移与电压曲线

谐振频率与负载曲线

线性度曲线


产品应用


 图像处理与稳定

 精密定位

 光学捕获

 扫描显微

 干涉/计量

 半导体测试

 表面检测

 光学计量

 光学显微成像

 SPM扫描显微

 掩模/晶圆定位

 生物技术


P16全系列产品


 

P16.XY50二维 50μm/轴运动范围

P16.XY80二维 ±40μm/轴运动范围

P16.XY100二维 ±40μm/轴运动范围

 

    技术参数

型号

尾缀S-闭环

P16.XY100S

P16.XY100K

单位

尾缀K-开环

  运动自由度

XY

XY

 

  运动和定位

  驱动控制

3 路驱动,2路传感

3 路驱动

  标称行程范围(0~100V)

±33/轴

±33/轴

µm/轴±10%

  行程范围(0~120V)

±40/轴

±40/轴

µm/轴±10%

  传感器类型

SGS

-

 

  通孔尺寸

Ø20

Ø20

mm

  分辨率

2.5

1

nmtyp.

  闭环线性度

1

-

%F.S.

  闭环重复定位精度

0.5

-

%F.S.

  俯仰/偏航/滚动

<25

<25

µrad

  机械性能

  运动方向推/拉力

30/30

30/30

N

  运动方向刚度

X0.5/Y0.5

X0.5/Y0.5

N/µm±20%

  空载谐振频率

600

600

kHz±20%

  空载阶跃时间

10

1.6

ms±20%

  承载能力

1.5

1.5

Kg

  驱动性能

  静电容量

3.6

3.6

μF/轴±20%

  其他

  材质

钢、铝

钢、铝

 

  重量

220

220

g±5%

** 可定制低温版本及高真空版本。 

***连接器可定制。 

注:以上所提参数与测试环境、测试设备有关。

注:以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得,Max.驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
    尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF
Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual


应用案例


笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻


笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻


陶瓷转接头

氧化铝转接头

金属转接头

促动器柔性转接头

       

钨钢垫片

热稳定散热片

促动器与平台转接座

促动器测试支架

       

粘镜片胶水

P34 镜片转接架

P32/ P33 镜片转接架

P32/P33 镜片转接座

       

P22 测试支架

P32/P33 测试支架

P34 测试支架

P31/P54 测试支架

       

BNC转LEMO

BNC转鱼夹

单芯LEMO座转鱼夹

单芯LEMO线

       

BNC连接头转鱼夹

LEMO 连接器

测试支架

磁力表座

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