产品特点
XYZ 三维直线运动 |
XY 行程 500μm,Z 向行程 800μm |
适用于物镜的三维定位调节 |
可定制真空版本 |
技术参数 | |||
型号 |
P12.XY500Z800S |
P12.XY500Z800K |
单位 |
运动自由度 |
X、Y、Z |
X、Y、Z |
|
驱动控制 |
3路驱动,3路传感 |
3路驱动 |
|
XY标称行程范围(0~150V) |
500 |
500 |
μm/轴±10% |
Z标称行程范围(0~150V) |
800 |
800 |
μm±10% |
传感器类型 |
SGS |
- |
|
承载能力 |
250 |
250 |
g |
XY静电容量 |
28.8 |
28.8 |
μF/轴±20% |
Z静电容量 |
43.2 |
43.2 |
μF±20% |
XY轴分辨率 |
14 |
4 |
nm |
Z轴分辨率 |
22 |
6.5 |
nm |
重量 |
1000(不含线) |
1000(不含线) |
g±5% |
注:以上参数是采用 E00/E01 系列压电控制器测得。最大驱动电压可在 -20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在 0~120V。
|
|
应用案例
笼式结构 |
低温真空 |
纳米压印 |
超分辨率显微成像 |
红外超分辨率成像 |
激光直写 |
提高CCD分辨率 |
干涉测量 |
显微镜探针校准 |
纳米光刻 |