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P79 系列压电显微样品台为一维至三维微动平台，主要 用于配套宏动 XY 轴显微扫描台以及市面上压电马达平台使 用。当宏动 XY 轴平台定位样品之后，P79 平台可以对其进 行 XYZ 轴快速精密的聚焦调节，阶跃时间达毫秒量级。
产品特点
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 真空版本可选 |
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产品应用
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| 技术参数 | |||
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型号 |
P79.XYZ50S
P79.XYZ50K |
单位 |
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运动自由度 |
X、Y、Z |
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驱动控制 |
3路驱动，3路传感 |
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标称行程范围（0~120V） |
40/ 轴 |
μm±20% |
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行程范围（0~150V） |
50/ 轴 |
μm±20% |
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传感器类型 |
SGS/- |
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通孔尺寸 |
84×65 |
mm |
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闭 / 开环分辨率 |
1.5/0.5 |
nm |
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闭环线性度 |
0.1/- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.05/- |
%F.S. |
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俯仰 / 偏航 / 滚动 |
<20 |
μrad |
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推 / 拉力 |
25/- |
N |
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运动方向刚度 |
0.5 |
N/μm±20% |
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空载谐振频率 |
X525/Y630/Z490 |
Hz±20% |
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闭 / 开环空载阶跃时间 |
30/6 |
ms±20% |
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承载能力 |
0.5 |
kg |
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静电容量 |
3.2/ 轴 |
μF±20% |
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材质 |
钢、铝 |
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重量 |
720 |
g±5% |
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注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
应用案例
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笼式结构 
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低温真空 
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纳米压印 
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超分辨率显微成像 
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红外超分辨率成像 
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激光直写 
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提高CCD分辨率 
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干涉测量 
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显微镜探针校准 
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纳米光刻 
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