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XD107 系列压电扫描台是三维运动的压电平台，它的中心具有方形通孔，适用于样品显微成像应用。
产品特点
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产品应用
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| 技术参数 | |||
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型号 |
XD107.XY100Z80S |
XD107.XY100Z80K |
单位 |
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运动方向 |
X、Y、Z |
X、Y、Z |
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| 驱动控制 |
3 路控制，三路传感 |
3 路控制 |
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标称行程范围（0~120V） |
XY80/Z64 |
XY80/Z64 |
μm±20% |
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行程范围（0~150V） |
XY100/Z80 |
XY100/Z80 |
μm±20% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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通孔尺寸 |
50x50 |
50x50 |
mm |
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外形尺寸 |
94×94×24.5 |
94×94×24.5 |
mm |
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闭 / 开环分辨率 |
3 |
1 |
nm |
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闭环线性度 |
XY0.2/Z0.1 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
XY0.02/Z0.02 |
- |
%F.S. |
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俯仰 / 偏航 / 滚动 |
≤ 30 |
≤ 30 |
μrad |
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空载谐振频率 |
XY220/Z160 |
XY220/Z160 |
Hz±20% |
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带载谐振频率 (400g) |
XY110/Z80 |
XY110/Z80 |
Hz±20% |
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承载能力 |
0.4 |
0.4 |
kg±5% |
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静电容量 |
XY3.6/Z1.8 |
XY3.6/Z1.8 |
μF±20% |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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重量 |
420 |
420 |
g±5% |
注：以上参数是采用 E00/E01 系列压电控制器测得。最大驱动电压可在 -20V~150V；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0~120V。
应用案例
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笼式结构 
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低温真空 
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纳米压印 
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超分辨率显微成像 
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红外超分辨率成像 
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激光直写 
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提高CCD分辨率 
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干涉测量 
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显微镜探针校准 
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纳米光刻 
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