- 产品介绍
- 意见反馈
P13A系列压电纳米定位台是专为极低温、强磁场环境而研发设计，采用低温压电驱动，外壳采用轻型材料。P13A 为 XY 二维扫描运动，它的体积小巧，尺寸仅33×33×14.6mm，中心具有 10×10mm 通孔。所有组件均采用低温强磁兼容版本，以保证其在低温强磁下的性能。
产品特点
|
|
|
|
|
| 技术参数 | |||
|
型号 |
P13A.XYZ80K |
单位 |
|
|
使用温度 |
常温 |
4K |
|
|
运动方向 |
X、Y、Z |
X、Y、Z |
|
|
驱动控制 |
3路驱动 |
3路驱动 |
|
|
驱动源 |
压电堆栈 |
压电堆栈 |
|
|
标称行程范围 |
80（0~60V） |
25（0~150V） |
μm±20% |
|
开环分辨率 |
1 |
0.3 |
nm |
|
空载谐振频率 |
350 |
350 |
Hz±20% |
|
带载150g谐频 |
- |
- |
Hz±20% |
|
静电容量 |
XY5.5、Z11 |
XY0.75、Z1.5 |
μF±20% |
|
主体材料 |
不锈钢 |
钛 |
|
|
线缆 |
常温线 |
磷铜双绞线 |
|
|
工作环境 |
-20~80 |
低温4K强磁场30T，超高真空2E-11mbar |
|
|
承载 |
100 |
100 |
g |
|
重量 |
168 |
168 |
g±5% |
应用案例
|
笼式结构 
|
低温真空 
|
纳米压印 
|
|
超分辨率显微成像 
|
红外超分辨率成像 
|
激光直写 
|
|
提高CCD分辨率 
|
干涉测量 
|
显微镜探针校准 
|
|
纳米光刻 
|
