P12.XYZ三维XYZ向压电扫描台 100μm 中孔ф25mm或ф35mm当前位置:产品首页 >> 三维中空式压电扫描台>>P12.XYZ三维XYZ向压电扫描台 100μm 中孔ф25mm或ф35mm
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P12.XYZ三维XYZ轴压电扫描台,结构紧凑,外形尺寸60×60×24mm或70x70x24mm(对应不同中心孔尺寸),行程可达100μm。压电驱动、无摩擦、柔性铰链导向系统使得这一系列产品实现纳米级的分辨率,毫秒级的响应时间,台体中心中孔尺寸达Φ25mm,适合于显微及扫描中的样品定位。


产品特点


 三维XYZ向运动

 行程100μm/轴

 承载0.6kg

 通孔尺寸:Ø25mm

 闭环重复定位精度高

 响应速度快

 真空版本可选

 


产品实物图

产品运动示意图

台体采用放大机构设计,运动行程范围大

小体积、大位移、中心通孔

P12系列压电扫描台采用机构放大设计原理,较小的体积外形,尺寸仅为60×60×24mm,P12.XYZ可以实现100μm/轴的扫描范围,中心通孔可选25mm或35mm,35mm通孔对应台体外形尺寸为70×70×24mm。
      台体采用FEA有限元分析优化设计,具有零摩擦、高导向精度、纳米级分辨率等优点。
      P12系列压电扫描台内置高可靠性表面绝缘压电陶瓷,扫描台的可靠性与稳定性。

平稳和准确的扫描圆形驱动

精准圆形驱动控制,可以通过精切定位XY平台的每一轴,采用正弦波90°相差输入,也可以通过PID修正位移进行调整,根据频率幅值以及负载使得驱动控制平稳准确。

位移与电压曲线

谐振频率与负载曲线

线性度曲线

定制版

定制版


产品应用


 图像处理与稳定

 精密定位

 光学捕获

 扫描显微

 干涉/计量

 半导体测量

 表面检测

 光学计量

 光学显微成像

 SPM扫描显微镜

 掩模/晶圆定位

 表面结构分析


相关产品


P12系列压电扫描台包括X/XY/XZ/XYZ四种运动结构形式,可以满足1~3维大行程扫描或定位的应用需求。同时,P12具有两种通孔直径可供选择,分别为25mm、35mm。


P12.X一维 100μm运动范围

P12.Z一维 100/200/300μm运动范围

P12.XY二维 100μm/轴运动范围

P12.XZ二维 100μm/轴运动范围

P12.XYZ三维 100μm/轴运动范围

    技术参数

型号

尾缀S-闭环

P12.XYZ100S

P12.XYZ100K

单位

尾缀K-开环

  运动自由度

XYZ

XYZ

 

  运动和定位

3路驱动,3路传感 3路驱动,3路传感

  标称行程范围(0~120V

80

80

µm±10%

  行程范围(0~150V

100

100

µm±10%

  传感器类型

SGS

-

 

  通孔尺寸

Ø25

Ø25

mm

  分辨率

3

1

nmtyp.

  闭环线性度

0.1

-

%F.S.

  闭环重复定位精度

0.05

-

%F.S.

  俯仰/偏航/滚动

<15

<15

µrad

  运动方向推/拉力

20/4

20/4

N

  运动方向刚度

X0.3/Y0.25/Z0.2

X0.3/Y0.25/Z0.2

N/µm±20%

  空载谐振频率

X0.23/Y0.18/Z0.15

X0.23/Y0.18/Z0.15

kHz±20%

  空载阶跃时间

30

0.8

ms±20%

 闭环工作频率(-3dB)

-

-

Hz±20%

  承载能力

0.6

0.6

Kg

  静电容量

1.8

1.8

μF/轴±20%

  材质

钢、铝

钢、铝

 

  重量

260

260

g±5%

** 可定制低温版本及高真空版本。 

***连接器可定制。 

注:以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 

注:以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得,Max.动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
    尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF
Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual


应用案例


笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻


笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻


陶瓷转接头

氧化铝转接头

金属转接头

促动器柔性转接头

       

钨钢垫片

热稳定散热片

促动器与平台转接座

促动器测试支架

       

粘镜片胶水

P34 镜片转接架

P32/ P33 镜片转接架

P32/P33 镜片转接座

       

P22 测试支架

P32/P33 测试支架

P34 测试支架

P31/P54 测试支架

       

BNC转LEMO

BNC转鱼夹

单芯LEMO座转鱼夹

单芯LEMO线

       

BNC连接头转鱼夹

LEMO 连接器

测试支架

磁力表座

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